[发明专利]金属硅粉末及其制造方法、球状二氧化硅粉末与树脂组合物

权利要求书

1.金属硅粉末，其是在火焰中使金属硅粉末与氧反应制造球状二氧化硅粉末时使用的前述金属硅粉末，其特征在于，按质量基准含有铀元素10ppb以下，磷元素500ppm以下，1ppm以上。

2.权利要求1所述的金属硅粉末，其特征在于，按质量基准含有铝元素5％以下，与磷元素的质量比(铝元素)/(磷元素)为2以上。

3.权利要求2所述的金属硅粉末，其中前述质量比(铝元素)/(磷元素)是100以下。

4.权利要求1～3的任何一项所述的金属硅粉末，其中磷元素的含量按质量基准是100ppm以下。

5.权利要求1～4的任何一项所述的金属硅粉末，其中前述铀元素的浓度是5ppb以下。

6.按质量基准含有铀元素10ppb以下，磷元素500ppm以下、1ppm以上的金属硅粉末的制造方法，其特征在于，不按一定顺序地包括下述工序：将按质量基准含有磷元素500ppm以下、1ppm以上的金属硅原料粉碎成粉碎物的粉碎工序，和在至少含有氢氟酸的无机酸中浸渍前述粉碎物后，使用洗涤液进行洗涤的除去洗涤工序。

7.权利要求6所述的金属硅粉末的制造方法，其中前述粉碎工序是使用氧化铝质的粉碎介质粉碎前述金属硅原料的工序，

按质量基准含有铝元素5％以下，与磷元素的质量比(铝元素)/(磷元素)为2以上。

8.权利要求7所述的金属硅粉末的制造方法，其中前述质量比(铝元素)/(磷元素)是100以下。

9.权利要求6或7所述的金属硅粉末的制造方法，其中磷元素的含量按质量基准是100ppm以下。

10.球状二氧化硅粉末，其特征在于，通过与载气一起向氧过量的氧化焰中投入权利要求1～5的任何一项所述的金属硅粉末或采用权利要求6～9的任何一项所述的制造方法制造的金属硅粉末进行制造。

11.树脂组合物，其特征在于，具有权利要求10所述的球状二氧化硅粉末和分散前述球状二氧化硅粉末的有机树脂材料。