[发明专利]发光器件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种发光器件及其制造方法，该发光器件使用通过对在一对电极之间提供包含有机化合物的膜(以下称为有机化合物层)而成的元件施加电场来获得荧光或磷光的发光元件。另外，发光器件是指图像显示器件、发光装置、或光源(包括照明设备)。另外，本发明还涉及一种发光器件的制造装置及制造装置的洗涤方法。

背景技术

近几年，涉及具有EL元件作为自发光型发光元件的发光器件的研究非常活跃。该发光器件也被称为有机EL显示器或有机发光二极管。由于这些发光器件有诸如适用于动画显示的快速响应速度、低电压、低功耗驱动等特征，因此它们作为包括新一代移动电话和便携式信息终端(PDA)的下一代显示器吸引了大家的注目。

这种以矩阵形状排列EL元件而成的发光器件，可以采用称为无源矩阵驱动(简单矩阵型)和有源矩阵驱动(有源矩阵型)的驱动方法。然而，如果像素密度增加，其中以每个像素(或每个点)提供开关的有源矩阵发光器件被认为是有优势的，因为它们可以用低电压驱动。

另外，包含有机化合物的层具有以“空穴传输层、发光层、电子传输层”为代表的叠层结构。另外，形成EL层的EL材料大致分为低分子(单体)材料和高分子(聚合体)材料。使用蒸镀装置形成低分子材料的膜。

另外，EL元件具有包含可以获得通过施加电场所产生的发光(电致发光)的有机化合物的层(以下称为EL层)、阳极、以及阴极。根据有机化合物的发光有从单重态激发状态恢复到基底状态时的发光(荧光)和从三重态激发状态恢复到基底状态时的发光(磷光)是已知的。

与需要背光灯的液晶显示器件不同，具有有机EL元件的有机EL面板是自发光型装置，所以容易实现高对比度且具有大的视野特性而具有优越的可见度。亦即，有机EL面板比液晶显示器更适合于在室外使用的显示器，并且除了移动电话、数字照相机的显示器件等以外，还提供了各种方式的用途。

专利文献1公开了在使用有机EL元件制造全彩色的有机EL面板时，设定ITO的阳极及多个有机化合物材料层的厚度的技术，以便从发光层获得的光的所希望的波长成为峰波长。

在使用R(红)、G(绿)、B(蓝)的三原色制造全彩色有机EL面板时，使用用于形成R、G、B各个不同的发光材料的成膜室，以便不使发光波长彼此不同的材料混合。因此，制造全彩色有机EL面板所需的总时间(或节拍时间)长。

另外，在专利文献2及专利文献3中公开了在不使用彩色滤光片而利用光的干扰现象使白色发光共振之后，将它变换为三种颜色的有机发光器件。

另外，本申请人在专利文献4中公开了以与高分子膜接触的方式具有低分子膜的EL元件及其制造方法。

另外，本申请人在专利文献5中公开了通过湿式法在一对电极之间具有包含过渡金属的氧化物层和发光层的EL元件。

另外，本申请人在专利文献6中公开了洗涤方法。

[专利文献1]日本专利申请特开平7-240277号公报

[专利文献2]日本专利申请特开2005-93399号公报

[专利文献3]日本专利申请特开2005-93401号公报

[专利文献4]日本专利申请特开2002-33195号公报

[专利文献5]日本专利申请特开2006-190995号公报

[专利文献6]日本专利申请特开2003-313654号公报

发明内容

本发明提供一种使用较简单的结构的装置，来形成膜厚度均匀性高的膜的成膜技术。本发明还提供一种大幅度缩短制造全彩色有机EL面板所需的时间的技术。本发明的目的在于：借助于这些技术，减少节拍时间的浪费和生产成本的浪费。

在此，提出使用多种发光元件实现的全彩色发光器件，所述多种发光元件是在一对电极之间设置具有通过液滴喷射装置选择性地形成的第一材料层和通过新颖的成膜法形成的第二材料层的叠层而成的。另外，第二材料层至少包括发射白色光的单层或通过合成而获得的发射白色光的叠层(例如，红色发光层、绿色发光层、以及蓝色发光层的叠层)。多种发光元件的第一材料层的厚度根据发光颜色不同，以便获得所希望的发光颜色。通过分别调节根据发光颜色不同的发光元件的第一材料层的厚度，可以利用光的干扰现象而选择性地强调白色发光成分中的蓝色发光成分、绿色发光成分、或红色发光成分来取光。