[发明专利]非球面透镜的面偏移测量方法及装置

权利要求书

1.一种非球面透镜的面偏移测量方法，

在2个透镜面中至少一方为非球面的被检测透镜，测量上述2个透镜面各自轴相互间的相对位置偏移的面偏移，

该非球面透镜的面偏移测量方法，按以下顺序进行：

彗差测量步骤，使用具备衡消光学元件的干涉计进行上述被检测透镜的透过波前测量，根据由该测量所得到的干涉条纹图像来求出上述被检测透镜的彗差；

面偏移彗差算出步骤，从上述彗差测量步骤所求出的上述彗差减去起因于上述2个透镜面各自轴相互间的相对倾斜错位的面斜倾而产生的预先所求出的面斜倾分彗差，算出起因于上述面偏移而产生的面偏移分彗差；和

面偏移算出步骤，根据该面偏移彗差算出步骤中所算出的上述面偏移分彗差，算出上述面偏移。

2.根据权利要求1所述的非球面透镜的面偏移测量方法，其特征在于：

在上述面偏移彗差算出步骤之前进行通过计算机仿真求出上述面斜倾和上述面斜倾分彗差之间的关系的面斜倾分彗差仿真步骤。

3.根据权利要求2所述的非球面透镜的面偏移测量方法，其特征在于：

上述面斜倾分彗差仿真步骤具有：在进行该仿真时决定相对于仿真用被检测透镜的仿真用衡消光学元件的中心轴的位置的面斜倾用衡消光学元件位置决定步骤，

该面斜倾用衡消光学元件位置决定步骤，对赋予了上述面斜倾的上述仿真用被检测透镜，通过在该仿真上多次使上述仿真用被检测透镜和上述仿真用衡消光学元件的中心轴的相对位置错位，来进行基于上述仿真用衡消光学元件的波前像差测量的仿真，从各仿真结果求得相对于上述仿真用被检测透镜的上述仿真用衡消光学元件的中心轴的位置与上述仿真用被检测透镜的波前像差之间的关系，根据该求出的关系，决定上述仿真用衡消光学元件的中心轴的位置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的非球面透镜的面偏移测量方法，其特征在于：

在上述彗差测量步骤之前，进行通过计算机仿真求出上述面偏移和上述面偏移分彗差之间的关系的面偏移分彗差仿真步骤。

5.根据权利要求4所述的非球面透镜的面偏移测量方法，其特征在于：

上述面偏移分彗差仿真步骤具有：在进行该仿真时决定相对于仿真用被检测透镜的仿真用衡消光学元件的中心轴的位置的面偏移用衡消光学元件位置决定步骤，

该面偏移用衡消光学元件位置决定步骤，对赋予了上述面偏移的上述仿真用被检测透镜，通过在该仿真上多次使上述仿真用被检测透镜和上述仿真用衡消光学元件的中心轴的相对位置错位，来进行基于上述仿真用衡消光学元件的波前像差测量的仿真，从各仿真结果求得相对于上述仿真用被检测透镜的上述仿真用衡消光学元件的中心轴的位置和上述仿真用被检测透镜的波前像差之间的关系，根据该求出的关系，决定上述仿真用衡消光学元件的中心轴的位置。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的非球面透镜的面偏移测量方法，其特征在于：

在上述面偏移彗差算出步骤之前，进行

通过计算机仿真求出相对于上述干涉计的光轴的上述衡消光学元件的倾斜与起因于该倾斜而产生的衡消光学元件倾斜分彗差之间的关系的衡消光学元件倾斜分仿真步骤、和

测量相对于上述干涉计的光轴的上述衡消光学元件的实际倾斜的衡消光学元件倾斜测量步骤，并且，

从上述衡消光学元件倾斜分仿真步骤所求出的上述关系而算出起因于上述衡消光学元件倾斜测量步骤所测量的上述衡消光学元件的实际倾斜而产生的彗差，将该算出的彗差从上述彗差测量步骤中所测量的彗差中减去。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的非球面透镜的面偏移测量方法，其特征在于：

在上述面偏移彗差算出步骤之前，进行

通过计算机仿真求出相对于上述干涉计的光轴的上述被检测透镜自身的倾斜和起因于该倾斜而产生的被检测透镜倾斜分彗差之间的关系的被检测透镜倾斜分仿真步骤、和

测量相对于上述干涉计的光轴的上述被检测透镜自身的实际倾斜的被检测透镜倾斜测量步骤，并且，

从上述被检测透镜倾斜分仿真步骤所求出的上述关系而算出起因于上述被检测透镜倾斜测量步骤中所测量的上述被检测透镜自身的实际倾斜而产生的彗差，将该算出的彗差从上述彗差测量步骤中所测量的彗差中减去。