[发明专利]涡轮分子泵及其堆积物附着抑制方法、基板处理装置

权利要求书

1.一种涡轮分子泵，用于从对基板实施处理的处理室排出堆积物附着要因气体，其包括：

具有沿着排气流的旋转轴的旋转体；收容该旋转体的筒状体；从该旋转体相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的旋转翼；以及从所述筒状体中的与所述旋转体的相对面相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的静止翼，所述多个旋转翼被分割成多个旋转翼组，并且所述多个静止翼被分割成多个静止翼组，各个所述旋转翼组以及各个所述静止翼组沿着所述旋转轴交互地配置，其特征在于：

该涡轮分子泵具有气体供给口，该气体供给口相对于所述排气流在位于最下游侧的所述旋转翼组的更上游侧开口，该气体供给口用于供给含有分子量大的气体分子的堆积物附着抑制气体。

2.如权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述分子量在氩的原子量以上。

3.如权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述堆积物附着抑制气体被加热至高温。

4.如权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述气体供给口除供给所述堆积物附着抑制气体之外还供给清洁气体。

5.如权利要求4所述的涡轮分子泵，其特征在于：

所述清洁气体由选自臭氧、氨气和三氟化氯中的至少一种构成。

6.一种涡轮分子泵，用于从对基板实施处理的处理室排出堆积物附着要因气体，其包括：

具有沿着排气流的旋转轴的旋转体；收容该旋转体的筒状体；从该旋转体相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的旋转翼；以及从所述筒状体中的与所述旋转体的相对面相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的静止翼，所述多个旋转翼被分割成多个旋转翼组，并且所述多个静止翼被分割成多个静止翼组，各个所述旋转翼组以及各个所述静止翼组沿着所述旋转轴交互地配置，其特征在于：

该涡轮分子泵具有气体供给口，该气体供给口相对于所述排气流在所述多个旋转翼组的更下游侧与排气管连通，并且相对于所述排气流在位于最下游侧的所述旋转翼组以及所述排气管之间开口，该气体供给口用于供给高温气体。

7.一种基板处理装置，具有对基板实施处理的处理室以及用于从该处理室排出堆积物附着要因气体的涡轮分子泵，该基板处理装置的特征在于：

所述涡轮分子泵包括：具有沿着排气流的旋转轴的旋转体；收容该旋转体的筒状体；从该旋转体相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的旋转翼；以及从所述筒状体中的与所述旋转体的相对面相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的静止翼，所述多个旋转翼被分割成多个旋转翼组，并且所述多个静止翼被分割成多个静止翼组，各个所述旋转翼组以及各个所述静止翼组沿着所述旋转轴交互地配置，

所述涡轮分子泵还具有气体供给口，该气体供给口相对于所述排气流在位于最下游侧的所述旋转翼组的更上游侧开口，该气体供给口用于供给含有分子量大的气体分子的堆积物附着抑制气体。

8.一种基板处理装置，具有对基板实施处理的处理室以及用于从该处理室排出堆积物附着要因气体的涡轮分子泵，该基板处理装置的特征在于：

所述涡轮分子泵包括：具有沿着排气流的旋转轴的旋转体；收容该旋转体的筒状体；从该旋转体相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的旋转翼；以及从所述筒状体中的与所述旋转体的相对面相对于所述旋转轴垂直地突出的多个板状的静止翼，所述多个旋转翼被分割成多个旋转翼组，并且所述多个静止翼被分割成多个静止翼组，各个所述旋转翼组以及各个所述静止翼组沿着所述旋转轴交互地配置，

该涡轮分子泵还具有气体供给口，该气体供给口相对于所述排气流在所述多个旋转翼组的更下游侧与排气管连通，并且相对于所述排气流在位于最下游侧的所述旋转翼组以及所述排气管之间开口，该气体供给口用于供给高温气体。