[发明专利]位置检测器

权利要求书

1.一种用于检测目标位移的位置检测器，包括：

位置传感器，其输出两种信号，所述信号关于位移以波长λ的间距进行正弦变化，并且具有相互以90度转换的相位；

偏移存储器，其存储关于从位置传感器输出的所述两种信号的偏移值；

偏移消除电路，其从输出自位置传感器的相应的两种信号中消除存储在偏移存储器中的偏移值；

内插计算器，其在所述偏移消除之后将所述两种信号转换为位置数据；

半径计算器，其在所述偏移消除之后计算所述两种信号的和的平方根；及

偏移值计算器，其基于当测量出的位移以波长λ的整数倍改变时通过相对于半径计算器的输出值关于位置数据的变化而执行傅立叶分析所获得的具有波长λ的分量，来计算偏移值；

其中利用在偏移值计算器中获得的偏移值，来更新存储在偏移存储器中的偏移值。

2.如权利要求1所述的位置检测器，其中

基于通过关于在半径计算器的输出值中的变化而执行傅立叶分析所获得的具有波长λ的分量和具有波长λ/3的分量，所述偏移值计算器计算所述偏移值。

3.如权利要求1所述的位置检测器，进一步包括： 

振幅比校正值存储器，其存储关于从所述位置传感器输出的所述两种信号的振幅比校正值；及

振幅比校正值计算器，其基于当测量出的位移以波长λ/2的整数倍改变时所获得的位置数据和来自半径计算器的输出值，来计算待存储于振幅比校正值存储器中的振幅比校正值；

其中利用在振幅比校正值计算器中获得的振幅比校正值，来更新存储在振幅比校正值存储器中的振幅比校正值。

4.如权利要求3所述的位置检测器，进一步包括：

相位差校正值存储器，其存储关于从所述位置传感器输出的所述两种信号的相位差校正值；及

相位差校正值计算器，其基于当测量出的位移以波长λ/2的整数倍改变时通过相对于半径计算器的输出值关于位置数据的变化而执行傅立叶分析所获得的具有波长λ/2的分量，来计算相位差校正值；

其中利用在相位差校正值计算器中获得的相位差校正值，来更新存储在相位差校正值存储器中的相位差校正值。

5.如权利要求1所述的位置检测器，进一步包括：

相位差校正值存储器，其存储关于从所述位置传感器输出的所述两种信号的相位差校正值；及

相位差校正值计算器，其基于当测量出的位移以波长λ/2的整数倍改变时所获得的位置数据和来自半径计算器的输出值，来计算待存储于相位差校正值存储器中的相位差校正值；

其中利用在相位差校正值计算器中获得的相位差校正值，来更新存储在相位差校正值存储器中的相位差校正值。 

6.一种用于检测目标位移的位置检测器，包括：

位置传感器，其输出两种信号，所述信号关于位移以波长λ的间距进行正弦变化，并且具有相互以90度转换的相位；

振幅比校正值存储器，其存储关于从位置传感器输出的所述两种信号的振幅比校正值；

振幅比校正电路，其依据存储于振幅比校正值存储器中的振幅比校正值，来校正从位置传感器输出的所述两种信号的振幅比；

内插计算器，其在所述振幅比校正之后将所述两种信号转换为位置数据；

半径计算器，其在所述振幅比校正之后计算所述两种信号的和的平方根；及

振幅比校正值计算器，其基于当测量出的位移以波长λ/2的整数倍改变时通过相对于半径计算器的输出值关于位置数据的变化而执行傅立叶分析所获得的具有波长λ/2的分量，来计算振幅比校正值；

其中利用在振幅比校正值计算器中获得的振幅比校正值，来更新存储在振幅比校正值存储器中的振幅比校正值。

7.一种用于检测目标位移的位置检测器，包括：

位置传感器，其输出两种信号，所述信号关于位移以波长λ的间距进行正弦变化，并且具有相互以90度转换的相位；

相位差校正值存储器，其存储关于从位置传感器输出的所述两种信号的相位差校正值；

相位差校正电路，其依据存储于相位差校正值存储器中的相位差校正值，来校正从位置传感器输出的所述两种信号的相位差； 

内插计算器，其在所述相位差校正之后将所述两种信号转换为位置数据；

半径计算器，其在所述相位差校正之后计算所述两种信号的和的平方根；及

相位差校正值计算器，其基于当测量出的位移以波长λ/2的整数倍改变时通过相对于半径计算器的输出值关于位置数据的变化而执行傅立叶分析所获得的具有波长λ/2的分量，来计算相位差校正值；

其中利用在相位差校正值计算器中获得的相位差校正值，来更新存储在相位差校正值存储器中的相位差校正值。