[发明专利]制备滤色片用的热固性树脂组合物及滤色片和图像传感器有效
申请号: | 200810084809.1 | 申请日: | 2008-03-18 |
公开(公告)号: | CN101329420A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 权五范;李吉成;金宰贤;金正铉 | 申请(专利权)人: | 第一毛织株式会社 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;H01L27/14 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 滤色片用 热固性 树脂 组合 滤色片 图像传感器 | ||
相关申请的交叉参考
本非临时申请要求2007年6月19日提交的韩国专利申请No.10-2007-0059842的优先权,该申请在此全文引入作为参考。
技术领域
本发明涉及一种用于制备CMOS(互补型金属氧化物半导体)图像传感器用滤色片的热固性树脂组合物,包括使用该组合物形成的透明膜的滤色片,及使用该滤色片的CMOS图像传感器。
背景技术
用于图像传感器的滤色片可以包括形成于滤色片表面上或表面下的透明膜,以提高平坦度及保护滤色片。所述透明膜必须在可视区为光学透明、必须具有高的膜强度并呈现出足以承受在形成透明膜之后的后续工艺如加热、清洁、显影和蚀刻的耐热性和耐化学性。尤其,图象处理器用滤色片的下部透明膜应该能够抑制照射以图案化彩色光阻(color resist)的紫外线的反射,并因此防止通过各种负面因素如光晕(halation)和驻波而在滤色片上产生图案缺陷。
日本特开平1-134306、特开昭62-163016和特开昭63-131103公开了用于滤色片用透明膜的组合物,该组合物含有甲基丙烯酸缩水甘油酯、聚酰亚胺、及三聚氰胺树脂和环氧树脂的混合物分别作为主要成分。
环氧树脂组合物可以用于制备具有可靠的粘合强度、耐热性、耐化学性和耐水性的滤色片用保护膜。例如,日本特开平08-050289公开了一种含有甲基丙烯酸缩水甘油酯聚合物和酚固化剂(phenolic curing agent)的可固化树脂组合物。而且,日本特开平08-201617公开了一种用于透明膜的含有环氧树脂、固化剂和有机溶剂的树脂组合物,其中,所述固化剂是苯乙烯-马来酸酐共聚物和胺的反应产物。
通常,由于与固化剂的快速反应,环氧树脂与固化剂(被称为“双组分组合物”)在即将使用前混合。已知,环氧树脂并不适用于制备单组分组合物。但是,双组分组合物处理复杂,并不适于工业规模制备。
上述现有技术方法均未公开含有环氧树脂并同时满足透明度、膜强度、耐热性、耐酸性及耐碱性的要求的单组分组合物。而且,还未开发出能够吸收紫外光的滤色片用透明膜。
发明内容
根据本发明的一个方面,提供了一种用于制备滤色片的热固性树脂组合物。本发明的热固性树脂组合物具有优异的粘合强度、透明度、膜强度、耐热性、耐酸性、耐碱性及长期贮存稳定性并可以吸收特定波长的紫外光。
本发明的热固性树脂组合物含有有机溶剂和含式1、式2、式3及式4所示的结构单元的自固化共聚物:
其中,R1为氢原子或甲基,n为1至10的整数;
其中,R2为氢原子或甲基,m为1至10的整数;
其中,R3为氢原子或甲基;和
其中,R4为氢原子或甲基,Z选自以下基团:
所述自固化共聚物可以含有约5-90mol%的式1的结构单元,约1-30mol%的式2的结构单元,约1-30mol%的式3的结构单元,及约0.5-20mol%的式4的结构单元。
所述自固化共聚物还可以含有式6所式的结构单元:
其中,X选自和o为1至4的整数,p为4至12的整数,且Y选自氢原子、C1-C4低级烷基和C1-C4低级烷氧基。
式6的结构单元可以以约0.5-20mol%的量存在。
所述自固化共聚物可以具有约1000-1000000的重均分子量。
本发明的热固性树脂组合物还可以含有环氧化合物。
本发明的热固性树脂组合物可以含有约1-45重量%的自固化共聚物,约1-45重量%的环氧化合物,和余量的有机溶剂。
所述环氧化合物可以选自由双酚A型环氧化合物、双酚F型环氧化合物、线型酚醛清漆型环氧化合物、甲酚线型酚醛型环氧化合物及取代的环氧化合物组成的组中。这些环氧化合物可以单独使用或以它们的混合物形式使用。
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