[发明专利]电极图形以及引线接合方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于在半导体装置或衬底等的电极上进行引线接合的电极图形以及引线接合方法。

背景技术

在进行对电极和金属引线进行接线的引线接合时，需要在接合装置中示教(teaching)接合位置。通常，在用Au球等进行引线接合时，Au球以充分地收容在进行引线接合的电极内的方式设计。在半导体装置制造时的引线接合步骤中，作为用于把握引线接合装置应该进行接线的场所的技术，有特开2001-326241号公报中记载的技术。

在对激光二极管进行引线接合的情况下，引线接合用的电极图形作成细长的形状。在记录型激光二极管中，随着记录时的倍速上升而激光二极管要求的光输出日益增大，另一方面，低价格化的要求非常强。为了响应这些要求，为了得到高输出，使激光二极管纵向的长度变长，为了低价格化，缩短激光二极管的横向的长度，使从单一晶片内取得的芯片数增加。由此，例如在350mW级的记录型高输出激光二极管的情况下，成为纵向长度超过2000μm、横向长度为150μm以下这样的非常细长的形状。

在记录型高输出激光二极管的针对封装(package)的安装方式中，在眼孔(eyelet)上以AuSn焊料等连接次粘着基台(surmount)和激光二极管。并且，对激光二极管的电极和导线或眼孔进行引线接合，但是，为了在电极上的预定位置形成Au球，对电极端部的特征图形进行识别，接下来，在激光器的长度方向上错开预定量的场所对Au球进行接合。可知在眼孔上粘结次粘着基台和激光二极管时，由于组装装置的精度的影响，眼孔的中心线和激光二极管的中心线最大倾斜2°左右。

专利文献1特开2001-326241号公报

在激光二极管中心和眼孔中心没有倾斜的情况下，Au球可在电极中心进行接合。但是，存在倾斜时，存在Au球露出到电极外的问题。电极的长度方向的长度较长、短边方向的长度(电极宽度)较短时，针对短边方向的错开变大，Au球的露出量变多。如果在电极端部附近形成Au球，则可使由倾斜误差导致的Au球露出量变少，但是，在这种情况下，存在如下问题：在与Au球附近离开的场所，能够提供给激光二极管的电流密度改变，激光二极管难以正常地工作。由此，Au球需要形成在激光二极管中心附近。如记录型高输出激光二极管那样，在细长的电极图形上形成Au球的情况下，该影响更显著。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，提供一种能够精度良好地进行引线接合的电极图形以及引线接合方法。

本发明的电极图形是具有短边和长边的引线接合用的电极图形，其特征在于，

具有引线接合基准图形和引线接合识别图形，该引线接合基准图形表示用于确定引线接合位置的基准位置，

并且，L和Lb满足如下关系，即，L≥14.3×(W-3d/4)

Lb≤14.3×(W-3d/4)，

其中，

L是所述基准位置与下述的线之间的距离，即，该线为：在粘结于所述电极图形上的引线接合用的金属部位处、通过与所述短边平行的方向上的宽度为最大的位置且与所述短边平行的方向上的线，

Lb：通过引线接合识别图形的所述长边方向的中心且与所述短边平行的方向上的线、和通过所述金属部位的与所述短边平行的方向上的宽度为最大的位置且与所述短边平行的方向上的线的距离，

d：在电极图形上所粘结的引线结合用金属部位的与所述短边平行的方向上的宽度的最大值，

W：电极图形的与短边平行的方向上的宽度。

附图说明

图1是示出本发明实施方式的电极图形的概要图。

图2是示出使用本发明实施方式的电极图形的半导体元件的概要图。

图3是示出本发明实施方式的电极图形的概要图。

图4是示出本发明实施方式的电极图形的概要图。

图5是示出本发明实施方式的电极图形的概要图。

具体实施方式

实施方式1