[发明专利]具有倾斜电极的微机械器件

权利要求书

1.一种微机械器件，包括：

微机械功能结构(1)，所述微机械功能结构(1)能够从静止位置绕主轴(13)偏转；

可动电极(3)，所述可动电极(3)安装在所述微机械功能结构(1)上；以及

固定电极(4)，所述固定电极(4)能够在静止位置围绕倾斜轴(10)相对于可动电极(3)倾斜，其中所述倾斜轴(10)与主轴(13)平行或者与主轴(13)等同。

2.根据权利要求1所述的微机械器件，其中所述可动电极(3)和所述固定电极(4)形成为梳状电极。

3.根据权利要求1所述的微机械器件，其中所述固定电极(3)在静止位置相对于布置所述微机械功能结构(1)的平面向上或者向下倾斜。

4.根据权利要求1所述的微机械器件，具有多个电极对(3，4)，所述多个电极对(3，4)每一个都包括可动电极(3)和固定电极(4)，其中两个所述电极对每一个都布置在所述微机械功能结构(1)的一侧上。

5.根据权利要求4所述的微机械器件，其中所述电极对中的所述固定电极(4)沿相同方向或者相反方向倾斜。

6.根据权利要求1所述的微机械器件，具有用于倾斜固定电极(4)的装置。

7.根据权利要求6所述的微机械器件，其中用于所述用于倾斜固定电极(4)的装置包括作用在所述固定电极(4)上的外部或内部微操纵器。

8.根据权利要求7所述的微机械器件，其中所述固定电极(4)包括所述微操纵器与其接触的垫(5)。

9.根据权利要求7所述的微机械器件，其中所述微操纵器包括心轴和/或集成执行器。

10.根据权利要求1所述的微机械器件，具有固定件，所述固定件将所述固定电极(4)固定在倾斜位置。

11.根据权利要求10所述的微机械器件，其中所述固定件包括胶粘，焊料、金属、塑料、键合连接或者机械装置。

12.根据权利要求1所述的微机械器件，具有框架，具有所述可动电极(3)和所述固定电极(4)的所述微机械功能结构(1)安装在所述框架上。

13.根据权利要求12所述的微机械器件，具有横梁(2)，所述微机械功能结构(1)和可动电极(3)通过所述横梁(2)连接到所述框架上。

14.根据权利要求13所述的微机械器件，其中所述横梁(2)的一部分具有相比于所述横梁的剩余部分较小的厚度，用于限定扭簧(7)。

15.根据权利要求13所述的微机械器件，其中所述横梁包括弯曲形状的结构，以使得所述微机械功能结构(1)能够垂直于主轴(13)平移地偏转。

16.根据权利要求1所述的微机械器件，其中所述微机械功能结构(1)是光学功能结构。

17.根据权利要求16所述的微机械器件，其中所述微机械功能结构(1)是一维或者两维的微镜。

18.根据权利要求1所述的微机械器件，具有在所述可动电极(3)和所述固定电极(4)之间提供具有预定频率的周期信号的电压源。

19.根据权利要求18所述的微机械器件，其中所述信号是电压信号。

20.根据权利要求1所述的微机械器件，所述微机械器件被用于图像投影。

21.根据权利要求1所述的微机械器件，所述微机械器件被用于定位光线或者激光束。

22.根据权利要求1所述的微机械器件，所述微机械器件被用于光线和/或激光束的偏转，其中辐射源是连续地或者以脉冲方式被操作。

23.根据权利要求1所述的微机械器件，其中所述微机械功能结构能够以准静态的方式被偏转。