[发明专利]喷出量测量和调整方法、液状体喷出方法、滤色器的制法

说明书

技术领域

本发明涉及喷出量测量方法、喷出量调整方法、液状体的喷出方法、滤色器的制造方法、液晶显示装置的制造方法及电光装置的制造方法，尤其涉及可以精度优良地测量从液滴喷出头喷出的液滴的喷出量的方法。

背景技术

以往，作为对工件喷出液滴的方法，公知利用喷墨式液滴喷出装置进行喷出的方法。液滴喷出装置包括：工作台，其载置基板等工件，并使工件沿一个方向移动；和滑架，其沿配置在与工作台移动方向正交的方向上的导轨移动。滑架配置喷墨头(以下称为液滴喷出头)，对工件喷出液滴，然后进行涂覆。

使功能液成为液滴后通过向工件喷出液滴，从而所涂覆的功能液可以采用各种材料。功能液大多因为温度的变化而导致粘度发生变化，粘度发生变化也会导致流体电阻发生变化。流体电阻发生变化，从而流经液滴喷出头内的流路的功能液的流速也发生变化。因为功能液的流速变化，故每个墨点的喷出量变动，难以精度优良地测量喷出量。

为了解决该问题，在专利文献1中，公开了一种精度优良地测量每个墨点的喷出量的方法。根据该方法，在腔室内设置了液滴喷出装置后，通过调整腔室内的温度与湿度，从而控制液滴喷出装置的环境，测量喷出量。

【专利文献1】特开2004-209429号公报

在利用压电元件对液滴喷出头的空腔(cavity)加压时，因压电元件的动作而增加的能量的一部分转换为热，成为使得液滴喷出头的温度上升的主要原因。再有，在未驱动压电元件时，压电元件不会发热，液滴喷出头散热，因此成为液滴喷出头的温度变动的主要原因。

在测量喷出量时，由于喷出量受到温度的影响，故测量时的喷头温度在每次测量的时候不能以大致相同的温度条件进行测量，存在测量精度下降的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而进行的，能作为以下的形态或应用例来实现。

[应用例1]

本应用例涉及的喷出量测量方法，对从在多个滑架上排列并搭载有多个液滴喷出头的液滴喷出头列的、上述液滴喷出头喷出的液状体的喷出量进行测量，其特征在于，该喷出量测量方法包括：第一测量工序，排列多个上述液滴喷出头列，从上述液滴喷出头喷出上述液状体，对从上述液滴喷出头列中的、被上述液滴喷出头列夹持的上述液滴喷出头喷出的上述液状体的喷出量进行测量；和第二测量工序，在上述第一测量工序之后进行，用其他的上述液滴喷出头列夹持在上述第一测量工序中未被其他的上述液滴喷出头列夹持的上述液滴喷出头，并使上述液滴喷出头喷出上述液状体后，对从上述液滴喷出头喷出的上述液状体的喷出量进行测量。

根据该喷出量测量方法，可以将喷出量的测量分为第一测量工序与第二测量工序来进行。

在使液状体作为液滴从喷嘴喷出时，对液状体进行加压。通过对液状体进行加压，从而液状体的压力升高。此时，在喷嘴中，成为液状体与气体接触的状态。而且，液状体的压力高于气体的气压，因此液状体的一部分成为液滴，被喷出到气体中。

在对液状体进行加压时，所加压的能量的一部分被转换为热。而且，液滴喷出头的温度上升。液状体若温度上升，则构成液状体的分子的动能增加，因此大多粘度降低。若液状体的粘度变化，则通过喷嘴等流路时的流体电阻变化。并且，从喷嘴喷出的液状体的喷出量变化。

在第一测量工序中，排列多个液滴喷出头列后喷出液状体。此时，液滴喷出头列存在被其他液滴喷出头列夹持的状态的液滴喷出头和未被其他液滴喷出头列夹持的状态的液滴喷出头。而且，各液滴喷出头因为进行喷出时温度上升，因此进行喷出的液滴喷出头全部温度上升。

未被其他液滴喷出头列夹持的状态的液滴喷出头的一面与空气流相接触，容易释放热量，因此温度难以上升。另一方面，被其他液滴喷出头列夹持的状态的液滴喷出头列因为温度上升，变得难以散热，故温度容易上升。也就是说，属于被其他液滴喷出头列夹持的状态的液滴喷出头列的液滴喷出头与属于未被其他液滴喷出头列夹持的状态的液滴喷出头列的液滴喷出头相比，温度容易上升。

在该测量方法中，在第一测量工序中对从属于被其他液滴喷出头列夹持的状态的液滴喷出头列的液滴喷出头喷出时的喷出量进行测量。然后，在第二测量工序中，用其他液滴喷出头列夹持第一测量工序中未被其他液滴喷出头列夹持的液滴喷出头列，在喷出液状体后对喷出量进行测量。也就是说，在第一测量工序与第二测量工序中，测量从属于被其他液滴喷出头列夹持的状态下的液滴喷出头列的液滴喷出头喷出时的喷出量。因此，液滴喷出头可以对基本相同的温度下的喷出量进行测量。结果，可以精确地测量喷出量。

[应用例2]