[发明专利]全自动引线键合机X－Y工作台无效
| 申请号： | 200810079233.X | 申请日： | 2008-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN101345200A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 张续业;牛伟光;陈威 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201河北省三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 全自动 引线 键合机 工作台 | ||
【权利要求书】：
1、一种全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于它包括底座(2)，所说底座(2)上安装有横向驱动直线电机(11)及纵向驱动直线电机(1)，横向驱动直线电机(11)驱动的横向动子(12)上装有横向滑块(10)，横向滑块(10)上固定有横向光栅尺(9)，与横向光栅尺(9)相对的横向读数头(8)与底座(2)固定，与横向滑块(10)配合的横向导轨(3)与底座(2)固定，与纵向滑块(7)配合的纵向导轨(6)固定在横向滑块(10)上，纵向滑块(7)与纵向驱动直线电机(1)驱动的纵向动子(13)连接，纵向滑块(7)上固定有纵向光栅尺(5)，与纵向光栅尺(5)相对的纵向读数头(4)固定在横向滑块(10)上。
2、根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所说横向导轨(3)和纵向导轨(6)均为具有齿轮齿条形式保持架的交叉滚子导轨。
3、根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所说横向驱动直线电机(11)的左前吹气板(14)和左吹气板(15)上开有用于冷却电机的吹气孔。
4、根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所说纵向驱动直线电机(1)的上板(17)和下板(18)开有用于冷却电机的吹气孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
