[发明专利]流量计以及流量控制装置

权利要求书

1.一种流量计，具备面对流路设置并且检测通过该流路的流体的流量的热式流量传感器，其特征在于，具备：

设置在所述流路并切断该流路内发生的疏密波向所述热式流量传感器的传播用的极细通路。

2.如权利要求1所述的流量计，其特征在于，

所述极细通路设置在所述流路上的所述热式流量传感器的上游侧或下游侧，使其流路截面积缩小，并且具有相当于在其内部形成的所述疏密波产生的边界层厚度的大致两倍的流路断面尺寸。

3.根据权利要求2所述的流量计，其特征在于，

所述极细通路具有由所述疏密波在其内部生成的边界层的长度。

4.根据权利要求2所述的流量计，其特征在于，

所述边界层的厚度是所述疏密波产生的速度边界层厚度和温度边界层厚度中的较小一方的厚度。

5.根据权利要求1所述的流量计，其特征在于，

所述极细通路形成于装卸自如地安装在所述流量计主体上形成的流路上并堵塞所述流路的构件上，而且贯通该构件。

6.根据权利要求1所述的流量计，其特征在于，

所述细管通路由具有规定的流路断面面积以及规定的流路长度的细管形成，

所述细管安装在装卸自如地安装在所述流量计主体上形成的流路上并堵塞所述流路的构件上，而且贯通该构件。

7.一种流量计，具备从主流路旁通的旁通流路、以及设置在所述旁通流路的热式流量传感器的流量计，其特征在于，具备：

设置在设置在所述旁通流路上并阻断该旁通流路内生成的疏密波向所述热式流量传感器的传播用的极细通路。

8.根据权利要求7所述的流量计，其特征在于，

还具备设置在所述主流路上并具有与所述极细通路大致相同的尺寸而且相互并列的多条极细通路。

9.一种流量控制装置，其特征在于，具备：

权利要求1至8中的任一项所述的流量计、

调整通过所述流路的流体的流量的流量控制阀、以及

根据所述流量计的输出，控制所述流量控制阀的开度的控制单元。