[发明专利]一种具界面粗化的发光二极管及其制作方法

权利要求书

1.一种具界面粗化的发光二极管，其特征在于：包含一个基板； 在基板上形成发光结构；在发光结构上形成第一电极，且发光结构与 第一电极融合；发光结构还在融合基础上通过曝光、显影及蚀刻出发 光区，形成粗化界面；在基板的另一面上形成第二电极。

2.一种具界面粗化的发光二极管的制作方法，其特征在于包含 以下步骤：

(1)提供一个基板；

(2)在基板上形成发光结构；

(3)在发光结构上形成第一电极；

(4)通过热处理方式使发光结构与第一电极融合；

(5)在融合基础上，通过曝光、显影及蚀刻的方式，蚀刻出发 光区，得到粗化界面；

(6)在基板的另一面上形成第二电极。

3.根据权利要求2所述之一种具界面粗化的发光二极管的制作 方法，其特征在于：步骤(3)中第一电极的材料包含：金、金铍、 金锌、钛、镍等金属材料中的一种或多种组成。

4.根据权利要求2所述之一种具界面粗化的发光二极管的制作 方法，其特征在于：步骤(4)的热处理方式是采用快速热处理。

5.根据权利要求2所述之一种具界面粗化的发光二极管的制作 方法，其特征在于：步骤(4)的热处理方式是采用常规热处理。

6.根据权利要求2所述之一种具界面粗化的发光二极管的热处 理，其特征在于：步骤(4)的热处理温度介于200℃～1000℃。

7.根据权利要求6所述之一种具界面粗化的发光二极管的制作 方法，其特征在于：所述步骤(4)的热处理温度介于400℃～800℃。

8.根据权利要求2所述之一种具界面粗化的发光二极管的制作 方法，其特征在于：步骤(5)的蚀刻为湿法蚀刻。

9.根据权利要求2所述之一种具界面粗化的发光二极管的制作 方法，其特征在于：步骤(5)蚀刻所用的蚀刻液包含：碘、碘化钾、 硝酸、盐酸、硫酸、氢氟酸等化学制剂中的一种或多种组成。

10.根据权利要求2所述之一种具界面粗化的发光二极管的制作 方法，其特征在于：步骤(6)中第二电极的材料包含：金、金锗、 镍等金属材料一种或多种组成。