[发明专利]基于MEMS闪耀光栅的波分复用器/解复用器

权利要求书

1、基于MEMS闪耀光栅的波分复用器/解复用器，包括MEMS闪耀光栅、自聚焦透镜、入射光纤和出射光纤，其特征在于，所述闪耀光栅设置在自聚焦透镜的焦点处，并且闪耀光栅的栅面与水平线夹角为70°，与自聚焦透镜熔接在一起；入射光纤与自聚焦透镜之间采用标准透镜进行耦合，并熔接在一起，自聚焦透镜对光纤中传输的高斯光束进行准直；出射光纤沿直径方向紧密排列，该直径方向与闪耀光栅的栅线垂直；所述MEMS闪耀光栅起耦合作用，将来自不同通道的不同波长的光载波耦合到一个通道，当作为解复用器使用时，闪耀光栅根据其衍射原理，将不同波长的光载波进行分离。

2、根据权利要求1所述的基于MEMS闪耀光栅的波分复用器/解复用器，其特征在于：所述出射光纤的光纤头采用锥形，与自聚焦透镜熔接在一起，增强光纤与自聚焦透镜之间的耦合效率。

3、根据权利要求1或2所述的基于MEMS闪耀光栅的波分复用器/解复用器，其特征在于：所述MEMS闪耀光栅的制作采用的是硅光栅的制作工艺，利用偏晶向(111)硅片制作一定闪耀角的硅光栅，所述MEMS闪耀光栅的表面平整光滑。

4、根据权利要求3所述基于MEMS闪耀光栅的波分复用器/解复用器，其特征在于：所述自聚焦透镜采用的是1/4周期的自聚焦透镜，其折射率分布采用：

n²(r)＝n²(0)(1-a²r²)＝1.5²(1-0.001r²)

上式中的n(0)为轴线折射率，n(r)为离轴距离r处的折射率，a²为自聚焦透镜的聚焦常数。

5、根据权利要求4所述基于MEMS闪耀光栅的波分复用器/解复用器，其特征在于：所述MEMS闪耀光栅的周期为2.3μm，且闪耀角为20°时，对1.55μm附近的光具有最佳的分光效果，并且其光能主要集中在1级光谱上。