[发明专利]单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器

权利要求书

1.一种单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：它包括：可见光像元(1)、可见光像元收集二极管(2)、红外感光像元(3)、红外感光像元收集二极管(4)、四相CCD转移栅(5)上的电极(V1)、(V2)、(V3)、(V4)，各个电极按上述顺序从上至下排列并构成CCD信道；可见光像元(1)和红外感光像元(3)并列在四相CCD转移栅(5)的一侧，且可见光像元(1)和红外感光像元(3)的位置可互换；可见光像元(1)和红外感光像元(3)分别通过可见光像元收集二极管(2)和红外感光像元收集二极管(4)把可见光信号和红外信号输入四相CCD转移栅(5)上的相应电极；各个器件间用沟阻(6)隔离，防止信号间的相互干扰。

2.根据权利要求1所述的单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：可见光像元收集二极管(2)把可见光信号输出到电极(V1)，红外感光像元收集二极管(4)把红外信号输出到电极(V3)；或者红外感光像元收集二极管(4)把红外信号输出到电极(V1)，可见光像元收集二极管(2)把可见光信号输出到电极(V3)。

3.根据权利要求1所述的单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：所述的CCD信道宽度为7μm。

4.根据权利要求1所述的单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：所述的红外感光像元(3)的尺寸大于可见光像元(1)。

5.根据权利要求3所述的单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：所述的可见光像元(1)的尺寸为30(H)×20(V)μm²所述的红外感光像元(3)的尺寸为30(H)×40(V)μm²。

6.根据权利要求1或5所述的单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：所述的红外感光像元(3)外沿有一N型保护环(7)。

7.根据权利要求1或5所述的单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：所述的红外感光像元(3)为PtSi二极管，可见光像元(1)为光敏二极管。

8.根据权利要求6所述的单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：所述的PtSi二极管的PtSi薄膜厚度小于5nm。