[发明专利]奥氏体不锈钢精密硬化方法及设备

权利要求书

1.一种奥氏体不锈钢精密硬化方法，包括以下步骤：一、将工件放进炉内，在380～450℃的温度下进行离子碳氮共渗硬化处理1～5h，本底真空为10Pa以下，充入氢气、氮气和乙炔气体，工作真空为100～500Pa，辅助阴极距离工件表面的距离为0.5～10cm，工作电压为400～800V，获得硬化层深度5～90μm；二、进行光饰处理，达到表面粗糙度Ra＜10nm。

2.根据权利要求1所述的奥氏体不锈钢精密硬化方法，其特征在于，所述光饰处理包括滚光、手工抛光或滚光与手工抛光组合。

3.根据权利要求2所述的奥氏体不锈钢精密硬化方法，其特征在于，所述滚光处理为将工件放进工件与磨料质量比不大于1∶15的滚光机滚桶中进行滚光，滚筒转速10～60r/min，滚光时间6～48h，磨料为3.2×3.2mm～1.1×1.1mm的核桃屑。

4.根据权利要求3所述的奥氏体不锈钢精密硬化方法，其特征在于，所述滚光处理先选用较大尺寸的磨料粗滚，再选用较小尺寸的磨料精滚。

5.根据权利要求4所述的奥氏体不锈钢精密硬化方法，其特征在于，所述手工抛光处理时，人工将工件按压在抛光机的抛光轮上，抛光轮转速为800～3000r/min，抛光轮材料采用麻轮、布轮和羊毛轮，抛光处理前在抛光轮上涂抛光蜡。

6.一种奥氏体不锈钢精密硬化设备，其真空室内设有主阴极盘，真空室连接有电源系统、抽气系统、供气系统，其特征在于：所述主阴极盘上设有多层水平盘式辅助阴极，工件放置在各个水平盘式辅助阴极上，各个水平盘式辅助阴极下表面距工件上表面的距离为0.5～10cm。