[发明专利]透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1. 一种图形化的透明导电薄膜的制备方法，其包括以下步骤：

提供一碳纳米管阵列；

从碳纳米管阵列中拉取获得至少一层碳纳米管薄膜；

提供一支撑体，将上述至少一层碳纳米管薄膜粘附于支撑体上形成一碳纳米 管薄膜结构；

采用功率密度为10000-100000瓦/平方毫米的激光束以800-1500毫米/秒的扫 描速度按照形成预定的图形的路径照射碳纳米管薄膜结构的表面，在碳纳米 管薄膜结构中形成预定图形；

将碳纳米管薄膜结构中形成预定图形的部分与其他部分分离，形成图形化的 透明导电薄膜。

2. 如权利要求1所述的图形化的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，在形 成碳纳米管薄膜结构之后进一步包括一使用有机溶剂浸润碳纳米管薄膜结构 的步骤。

3. 如权利要求2所述的图形化的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，该使 用有机溶剂浸润碳纳米管薄膜结构的步骤为通过试管将有机溶剂滴落在碳纳 米管薄膜结构表面浸润或将形成有碳纳米管薄膜结构的支撑体整个浸入盛有 有机溶剂的容器中浸润。

4. 如权利要求2所述的图形化的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，该有 机溶剂为乙醇、甲醇、丙酮、二氯乙烷或氯仿。

5. 如权利要求2所述的图形化的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，经有 机溶剂处理后，碳纳米管薄膜结构形成一自支撑的碳纳米管薄膜结构。

6. 如权利要求1所述的图形化的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述 激光束的功率密度为70000-80000瓦/平方毫米。

7. 如权利要求1所述的图形化的透明导电薄膜制备方法，其特征在于，所述激 光束的扫描速度为1000-1200毫米/秒。

8. 如权利要求1所述的图形化的透明导电薄膜制备方法，其特征在于，所述激 光束的照射路径由电脑程序控制。

9. 如权利要求1所述的图形化的透明导电薄膜制备方法，其特征在于，所述的 将碳纳米管薄膜结构中形成预定图形的部分与其他部分分离的方法包括将 激光照射后的碳纳米管薄膜结构置于溶剂中浸泡或机械剥离的步骤。

10. 如权利要求9所述的图形化的透明导电薄膜制备方法，其特征在于，所述的 溶剂包括水、丙酮或乙醇。

11. 如权利要求9所述的图形化的透明导电薄膜制备方法，其特征在于，所述的 机械剥离的步骤为采用镊子夹取碳纳米管薄膜结构中预定图形的部分或碳 纳米管薄膜结构中的其余部分，使其从支撑体上直接剥离。