[发明专利]六梁结构加速度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种六梁结构加速度传感器，其特征是：包括通过弹性梁连接在左、右键合块上的带有活动电极的质量块、和与上下键合块连接的位于质量块上下的上侧固定电极和下侧固定电极，弹性梁包括双折梁和抗干扰梁，上下两个固定电极相互独立，活动电极通过质量块连接在一起，上下固定电极与活动电极构成一对差分电容，工作时两差分电容的大小随外加加速度变化的趋势正好相反，左右键合块以及与固定电极连接的上下键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。

2.根据权利要求1所述的六梁结构加速度传感器，其特征是：所述的质量块由H型质量块和与其相连的至少一条梳齿梁组成，H型质量块分布在梳齿梁两侧和中间部分，梳齿梁个数变化与敏感质量和检测电容的大小相关。

3.根据权利要求2所述的六梁结构加速度传感器，其特征是：所述的梳齿梁对称设置有检测梳齿。

4.根据权利要求1所述的六梁结构加速度传感器，其特征是：所述的质量块与左右键合块之间连接抗干扰梁。

5.根据权利要求1所述的六梁结构加速度传感器，其特征是：所述的键合块是中心对称机构。