[发明专利]矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器无效
| 申请号： | 200810064370.6 | 申请日： | 2008-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101276950A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 吴群;傅佳辉;孟繁义;杨国辉;靳炉魁;唐恺;贺训军 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01P1/18 | 分类号： | H01P1/18 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 吴国清 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 矩形 桥式共面 波导 结构 毫米波 微机 系统 移相器 | ||
1、矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，它包含共面波导(1)、信号线(3)、地线(4)、金属桥(5)和金属槽形矩形桥(8)，其特征在于金属槽形矩形桥(8)覆盖在n个金属桥(5)的上方，金属槽形矩形桥(8)壁的下端固定在共面波导(1)上的两根地线(4)上，金属槽形矩形桥(8)顶部的桥梁与共面波导(1)平行。
2、根据权利要求1所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于它还包含有n个绝缘介质基片(6)，每个绝缘介质基片(6)设在每个金属桥(5)正下方信号线(3)的上方，在每个绝缘介质基片(6)的上下两侧的信号线(3)上对称开有锯齿槽(7)。
3、根据权利要求1或2所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于所述的n为大于1的自然数。
4、根据权利要求1或2所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于绝缘介质基片(6)的宽度小于信号线(3)的宽度。
5、根据权利要求1或2所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于金属桥(5)与绝缘介质基片(6)的个数相同。
6、根据权利要求1所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于金属槽形矩形桥(8)桥壁距信号线(3)中心的距离为200μm～400μm；金属槽形矩形桥(8)的高度为10μm～20μm。
7、根据权利要求1所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于所述金属槽形矩形桥(8)左右两端部距信号线(3)左右两端部的距离为0μm～300μm。
8、根据权利要求1所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于金属槽形矩形桥(8)为金、铝或铜材料制成。
9、根据权利要求1或2所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于绝缘介质基片(6)采用氮化硅材料。
10、根据权利要求1、2、6、7或9所述的矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器，其特征在于信号线(3)线条宽度为100μm，所述的信号线(3)和地线(4)之间的距离为100μm，金属桥(5)的宽度为25μm，相邻金属桥(5)之间的距离为340μm，金属桥(5)的节数n＝2，且所述金属桥(5)、信号线(3)、地线(4)的材料均为金，绝缘介质基片(6)采用氮化硅材料，介电常数为7.5，厚度为0.3μm，锯齿槽(7)的深度为20μm，锯齿槽(7)宽出金属桥(5)两侧各1μm，金属槽形矩形桥(8)左右两侧距信号线(3)中心的距离为300μm，金属槽形矩形桥(8)的高度为18.7μm，金属槽形矩形桥(8)左右两端部距信号线(3)左右两端部的距离为300μm。
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