[发明专利]SOG结构微热管及其制作方法

权利要求书

1.一种SOG结构微热管，其特征在于SOG结构微热管的组成包括硅片衬底、覆盖片和玻璃丝三个主要部分，硅片衬底上设置有沟槽，沟槽中放置平直的玻璃丝，覆盖片通过刻蚀形成一个与各条沟槽空腔连通的蒸汽腔，硅片衬底和覆盖片通过静电键合结合在一起，硅片衬底的一角设置有一个由激光打出的微孔；所述的微孔作为充液的进液孔；所述的沟槽的截面为非圆形的截面结构；所述的覆盖片为有机玻璃盖片。

2.根据权利要求1所述的SOG结构微热管，其特征在于所述的沟槽平行设置。

3.根据权利要求1或2所述的SOG结构微热管，其特征在于所述的沟槽截面为非圆形截面结构。

4.根据权利要求1所述的SOG结构微热管，其特征在于所述的蒸汽腔为200微米深的矩形腔。

5.一种SOG结构微热管的制作方法，其特征在于：结构以硅片作为衬底，以有机玻璃作为覆盖片，硅片衬底上由MEMS技术加工出沟槽，在沟槽中放置玻璃丝，硅片衬底和有机玻璃覆盖片通过静电键合封接在一起形成封闭结构，然后由硅片上预留的微孔进行充液，并对此充液孔进行真空封闭，形成腔体内部填充有一定工质的微型平板热管结构；所述的有机玻璃覆盖片通过刻蚀形成一个用于将各条沟槽的空腔进行连通的矩形蒸汽腔。

6.根据权利要求5所述的SOG结构微热管的制作方法，其特征在于所述的工质为甲醇，乙醇，水或电子冷却剂FC-72。