[发明专利]具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件及其制作方法无效
申请号: | 200810063200.6 | 申请日: | 2008-07-22 |
公开(公告)号: | CN101324539A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
发明(设计)人: | 李扬;李朋;杨慕杰 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;H01L49/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 韩介梅 |
地址: | 310027*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 纳米 纤维结构 高分子 复合 电阻 型湿敏 元件 及其 制作方法 | ||
1.一种具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件,其特征在于它具有陶瓷基体(1),在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极(2),在叉指金电极上连接有引线(5),在陶瓷基体和叉指金电极表面涂敷有修饰膜(3),修饰膜表面沉积有纳米纤维结构的湿敏薄膜(4),所说的修饰膜(3)为聚二烯丙基二甲基氯化铵,纳米纤维结构的湿敏薄膜(4)为具有交联结构的聚3-氨丙基三乙氧基硅单溴代正己烷季铵盐与聚苯胺及聚氧化乙烯的复合物;该湿敏元件采用静电纺丝的方法制备。
2.根据权利要求1所述的具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件,其特征在于陶瓷基体表面的叉指金电极的叉指宽度为20~200μm,叉指间隙为20~200μm。
3.根据权利要求1所述的具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件的制作方法,其特征在于包括以下步骤:
1)清洗表面光刻和蒸发有叉指金电极的陶瓷基体,烘干;
2)将步骤1)的陶瓷基体叉指金电极浸渍于质量浓度为0.1%~0.25%的聚二烯丙基二甲基氯化铵的水溶液中,提拉,晾干;
3)采用静电纺丝法将纺丝溶液纺成的纳米纤维复合膜沉积在步骤2)制得的涂敷有聚二烯丙基二甲基氯化铵修饰膜的陶瓷基体叉指金电极上,在80~110℃下热处理8~16小时,得到具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件,纺丝溶液是以下组分的混合液,各组分以重量百分数计为:3-氨丙基三乙氧基硅单溴代正己烷季铵盐为5.2~6.1%,聚氧化乙烯为5.2~6.1%,可溶性碱式聚苯胺为0.75~2.3%,及樟脑磺酸0.75~2.3%,无水乙醇为28.8~30.6%,氯仿为54.4~57.5%。
4.根据权利要求3所述的具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件的制作方法,其特征在于静电纺丝条件为:纺丝时间20~80分钟,静电纺丝电压10~25千伏,注射器针头与接受板的距离5~20厘米,纺丝溶液流速0.1~0.2毫升/小时,纺丝温度:20~35℃,环境湿度:25~45%RH。
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