[发明专利]在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法

权利要求书

1、一种在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法，其特征在于：具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用压电致动器伺服控制微金刚石刀具的进给运动，具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用微小力传感器检测金刚石刀具尖端与工件表面的接触力和切削力，当切削刀具与工件接触时，压电致动器开始振荡，此时微小力传感器输出稳定信号，使用PID控制器对微小力传感器输出的信号和输入的切削深度参数进行运算，将运算结果输出到压电致动器控制切削刀具对工件表面进行加工，从而实现在回转件的表面快速加工出大面积三维微纳结构。

2、根据权利要求1所述的一种在回转件上快速制造大面积微镜头阵列的方法，其特征在于所述的具有测力模块的快速刀具伺服控制系统包括具有测力模块的快速刀具伺服控制装置、PID控制器、驱动放大器，具有测力模块的快速刀具伺服控制装置包括切削刀具1、前罩2、连接套3、预加载荷4、外壳5、压电执行器6、微小力传感器7、微小力传感器固定器8，微小力传感器固定器8内设有微小力传感器7，微小力传感器固定器8外设有连接套3、压电执行器6，连接套3、压电执行器6外设有外壳5，外壳5前端内侧设有预加载荷4，连接套3上设有前罩2，前罩2上安装切削刀具1。