[发明专利]场发射显示器阴极的单壁纳米碳管薄膜及制作和测试方法

权利要求书

1.一种场发射显示器阴极的单壁纳米碳管薄膜，其特征在于在镀有氧化铟锡薄膜的浮化玻璃基板上等间距设有多条单壁纳米碳管条形薄膜阴极。

2.一种场发射显示器阴极的单壁纳米碳管薄膜的制作方法，其特征在于包括如下步骤：

1)在电弧放电真空室中安装有两块平行放置的上石墨板9、下石墨板12，板间距离为50mm～300mm，石墨板内侧表面的粗糙度Ra为3.5～4.5μm，在上石墨板内侧的中心垂直安装有石墨棒阴极10，在下石墨板内侧的中心垂直安装有石墨棒阳极11，在石墨棒阳极内含有以Ni、Y、Fe、Mo中的一种或两种与石墨粉混合均匀的金属催化剂粉末，石墨棒阳极和石墨棒阴极的直径为6～10mm，石墨棒阳极和石墨棒阴极分别与直流电源15正、负极相连接，电弧放电真空室8与真空泵相连接；

2)将镀有氧化铟锡薄膜的浮化玻璃基板用导电胶粘贴在上石墨极板内侧，抽去电弧放电真空室中的空气后，充入高纯氦气或氩气和氢气的混合气体，压强为50～600Torr，接通直流电源，电流为50～100A，在镀有氧化铟锡薄膜的浮化玻璃基板的表面上形成单壁纳米碳管薄膜(低于600℃)；

3)然后用金刚石刻刀在单壁纳米碳管薄膜上平行刻划成等间距多条单壁纳米碳管条形薄膜阴极。

3.一种如权利要求1所述的场发射显示器阴极的单壁纳米碳管薄膜的测试方法，其特征在于包括如下步骤：

1)在镀有氧化铟锡膜的浮化玻璃基板上制备X方向平行条形电极，获得前浮化玻璃基板1，前浮化玻璃基板1上设有前浮化玻璃基板选址电极2，在前浮化玻璃基板1上涂复场发射绿色荧光粉3；在镀有氧化铟锡膜的浮化玻璃基板上制备Y方向平行条形电极，获得后浮化玻璃基板7，后浮化玻璃基板7上设有后浮化玻璃基板选址电极6，在浮化玻璃基板7上等间距设有多条单壁纳米碳管条形薄膜阴极5；前浮化玻璃基板1与后浮化玻璃基板7之间设有厚度为0.3～0.5mm的绝缘垫片4，制备成二极管结构的场发射显示器；

2)将二极管结构的场发射显示器固定在场发射性能测试系统中，在真空排气后，在前浮化玻璃基板1和后浮化玻璃基板7之间接通直流电源，调节其电压，对场发射显示器的场发射特性和发光情况进行测试。