[发明专利]一种射频电磁波屏蔽视窗玻璃及其制备方法

权利要求书

1.射频电磁波屏蔽视窗玻璃，其特征是依次由第一白玻层(1)、第一透明导电ITO金属氧化物薄膜层(2)、第一银钛合金金属薄膜层(3)、PU夹胶层(4)、第二银钛合金金属薄膜层(5)、第二透明导电ITO金属氧化物薄膜层(6)和第二白玻层(7)组成；第一、第二透明导电ITO金属氧化物薄膜层的厚度分别为250-500nm，第一、第二银钛合金金属薄膜层的厚度分别为10-20nm。

2.根据权利要求1所述的射频电磁波屏蔽视窗玻璃的制备方法，其特征是包括以下步骤：

1)以白玻玻璃作为镀膜衬底，清洗后放入电子束蒸发工作室，工作室抽真空，通入Ar气体，用离子轰击再次清洁衬底表面；

2)加热衬底温度至300～350℃，充入纯氧气，用电子束蒸发蒸镀ITO金属氧化物薄膜，控制工作室真空度4.8～5.2×10^-2Pa，束流10～50mA，氧气流量75～100ml/min，沉积速率0.7～2.5埃/秒；

3)关闭工作室氧气和加热装置，待冷却至室温后，用电子束蒸发在ITO金属氧化物薄膜表面蒸镀银钛合金薄膜，控制工作室真空度3-9.2×10^-4Pa，束流80～500mA，沉积速率2～3埃/秒；

4)将经过上述1)、2)、3)步骤处理的两片镀膜玻璃膜面相对，中间放置PU夹胶，进行预粘接，然后置于压力釜中，于100～150℃温度、1.0～1.5MPa压力下粘接成制品。