[发明专利]一种电子膨胀阀及其加工方法

权利要求书

1.一种电子膨胀阀，其阀体上设置有固定螺纹，其阀体腔内置有一多极磁性转子，该转子上设置有与所述固定螺纹配套的转动螺纹，所述固定螺纹与转动螺纹形成一个可相对精密旋动的传动螺纹副，其特征是所述固定螺纹和转动螺纹中的至少一个的表面有意涂覆有至少一层含碳原子的保护薄膜。

2.根据权利要求1所述的电子膨胀阀，其特征是所述磁性转子由所述转动螺纹与具有多极磁性的永磁体组成，所述转动螺纹与永磁体在圆周方向彼此约束在一起。

3.根据权利要求1所述的电子膨胀阀，其特征是所述保护薄膜中的碳原子部分以金刚石形态存在。

4.根据权利要求3所述的电子膨胀阀，其特征是所述的保护薄膜中含有能够增强承载能力或降低摩擦系数的元素硫、氧、氮、磷或钼。

5.根据权利要求1、3或4所述的电子膨胀阀，其特征是所述保护薄膜的厚度为3μm以下。

6.一种电子膨胀阀的加工方法，所述电子膨胀阀的阀体上设置有固定螺纹，其阀体腔内置有一多极磁性转子，该转子上设置有与所述固定螺纹配套的转动螺纹，所述固定螺纹与转动螺纹形成一个可相对精密旋动的传动螺纹副，其特征是在所述固定螺纹和转动螺纹中的至少一个的表面有意涂覆有至少一层含碳原子的保护薄膜，且碳原子部分以金刚石形态存在。

7.根据权利要求6所述的电子膨胀阀的加工方法，其特征是用离子注入方式向所述保护薄膜内渗入增强承载能力或降低摩擦系数的元素硫、氧、氮、磷或钼。

8.根据权利要求6或7所述的电子膨胀阀的加工方法，其特征是所述保护薄膜的厚度控制在3μm以下。

9.根据权利要求6所述的电子膨胀阀的加工方法，其特征是在基体材料上加工出所述螺纹，并清净螺纹，去除螺纹表面的杂质，然后在螺纹外表采用低温镀层技术涂覆得到所述保护薄膜。

10.根据权利要求6所述的电子膨胀阀的加工方法，其特征是在基体材料上加工出所述螺纹，并清净螺纹，去除螺纹表面的杂质，然后用离子注入方式在螺纹表面增加一层改性薄膜层，并令离子注入元素在基体材料上的浓度呈梯度变化，最后在螺纹外表采用低温镀层技术涂覆得到所述保护薄膜。