[发明专利]一种制备硅基金属纳米管的方法

权利要求书

1.一种制备硅基金属纳米管的方法，其特征在于：本发明按以下的步骤实施：

(1)清洗：以市售电阻率为0.01Ω·cm～0.5Ω·cm的P型硅片为原料，将其放入浓 度为50～99.9wt％的丙酮溶液中进行超声清洗1分～30分；再进行浓度为50～99.9wt ％无水乙醇超声清洗1分～30分；放入浓度为60～99.9wt％的硫酸和浓度为10～60 wt％的双氧水按体积比为0.5～10∶1的混合溶液中浸泡至不再有气泡放出为止；取 出硅片用去离子水清洗1～10次；将清洗过的硅片放入浓度为5～60wt％的氢氟酸与 去离子水按体积比为0.5～10∶1的混合液中漂洗5-10分钟；最后将硅片分别放入浓 度为50～99.9wt％的丙酮溶液和浓度为50～99.9wt％无水乙醇中超声清洗5分～30 分；将处理后的硅片置于50～99.9wt％无水乙醇或50～99.9wt％丙酮中待用；

(2)电化学腐蚀：清洗过的硅片按体积比为0.5～1∶5，浓度为5～60wt％氢氟酸 和50～99.9wt％无水乙醇的混合液中进行电化学腐蚀5分～120分，其电流密度为 5mA/cm²～180mA/cm²；

(3)沉积金属：将腐蚀过后的硅片先用去离子水清洗，再浸入含有金属种的混 合溶液中沉积金属5～30分钟，最后取出硅片清洗干净，得到纳米管成品，

所述的含有金属种铜和锌的混合溶液为氢氟酸浓度为1％，硝酸铜浓度为200ppb 或硝酸锌浓度为300ppb，

所述的含有金属种钛和钴的混合溶液为氢氟酸浓度为2％，硝酸钛浓度为3000ppb 或硝酸钴浓度为600ppb；

所述的含有金属种铬和镁的混合溶液为氢氟酸浓度为5％，硝酸铬浓度为6000ppb 或硝酸镁浓度为1000ppb。