[发明专利]半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置

权利要求书

1.半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置，包括有半导体激光一维阵列(1)、准直快慢轴的第一微透镜阵列(2)和聚焦透镜组；其特征在于：还包括有第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)；其中，所述的第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)都是由N对玻璃平板沿玻璃平板厚度方向依次叠加而成，N是光束被分割的份数，每对玻璃平板均包括两个相同的、置于同一水平面且对应斜边和直角边分别平行并呈上下倒置放置的玻璃板；第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)相互垂直放置，第一平板玻璃堆(A)的厚度方向平行于半导体激光阵列的慢轴方向，第二平板玻璃堆(B)的厚度方向平行于半导体激光阵列的快轴方向；从半导体激光一维阵列(1)发出的光经准直快慢轴的第一微透镜阵列(2)准直后，通过第一平板玻璃堆(A)的直角边传入第一平板玻璃堆(A)，经第一平板玻璃堆(A)的斜边折射后从第一平板玻璃堆(A)的另一个直角边输出，第一平板玻璃堆(A)使光束产生了不同的偏移形成阶梯行光束，第二平板玻璃堆(B)使阶梯形光束变换为竖直排列的光束后进入聚焦透镜组。

2.半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置，包括有半导体激光二维阵列的密排型堆栈(18)、准直快慢轴的第二微透镜阵列(20)、准直快慢轴的第一柱面透镜(22)、第二柱面透镜(23)和聚焦透镜组；其特征在于：还包括有第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)；其中，所述的第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)都是由N对玻璃平板沿玻璃板厚度方向依次叠加而成，N是光束被分割的份数，每对玻璃平板均包括两个相同的、置于同一水平面且对应斜边和直角边分别平行并呈上下倒置放置的玻璃板；第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)相互垂直放置，第一平板玻璃堆(A)的厚度方向平行于半导体激光阵列的慢轴方向，第二平板玻璃堆(B)的厚度方向平行于半导体激光阵列的快轴方向；从半导体激光二维阵列的密排型堆栈(18)发出的光依次经准直快慢轴的第二微透镜阵列(20)、第一柱面透镜(22)、第二柱面透镜(23)后通过第一平板玻璃堆(A)的直角边传入第一平板玻璃堆(A)，经第一平板玻璃堆(A)的斜边折射后从第一平板玻璃堆(A)的另一个直角边输出，第一平板玻璃堆(A)使光束产生了不同的偏移形成阶梯行光束，第二平板玻璃堆(B)使阶梯形光束变换为竖直排列的光束后进入聚焦透镜组。

3.半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置，包括有半导体激光二维阵列的非密排型堆栈(19)、准直快慢轴的第三微透镜阵列(21)和聚焦透镜组；其特征在于：还包括有第一平板玻璃堆(A)和第三平板玻璃堆(B″)；其中，所述的第一平板玻璃堆(A)由N对玻璃平板沿玻璃板厚度方向依次叠加而成，第三平板玻璃堆(B″)包括有M组第二平板玻璃堆(B)，每组第二平板玻璃堆(B)又包括有N对沿玻璃板厚度方向依次叠加的玻璃板，M为非密排型堆栈的Bar条数，N是光束被分割的份数；每对玻璃平板均包括两个相同的、置于同一水平面且对应斜边和直角边分别平行的并呈上下倒置放置的玻璃板；第一平板玻璃堆(A)和第三平板玻璃堆(B″)相互垂直放置，第一平板玻璃堆(A)的厚度方向平行于半导体激光阵列的慢轴方向，第三平板玻璃堆(B″)的厚度方向平行于半导体激光阵列的快轴方向；从半导体激光一维阵列(1)发出的光经准直快慢轴的微透镜(2)准直后，入射到第一平板玻璃堆(A)的直角边，经第一平板玻璃堆(A)的斜边折射后从第一平板玻璃堆(A)的另一个直角边输出，第一平板玻璃堆(A)使M个Bar条发出的入射光产生了不同的偏移形成M组阶梯形光束，第三平板玻璃堆(B″)使M组阶梯形光束变换为竖直排列的线性光束，最后进入聚焦透镜组。

4.根据权利要求1或权利要求2或权利要求3所述的半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置，其特征在于：所述的第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)中的每对玻璃平板的底角角度不同但总长度L相同，各对玻璃平板按照底角角度递增的顺序依次向两侧叠加，角度最大的玻璃板位于最外侧。

5.根据权利要求1或权利要求2或权利要求3所述的半导体激光阵列快慢轴光束参数乘积匀称化装置，其特征在于：所述的第一平板玻璃堆(A)和第二平板玻璃堆(B)中的每对玻璃平板的底边大小不同但底角相同且总长度L是相同的，各对玻璃平板按照底边从大到小的顺序依次向两侧叠加，底边最小的玻璃板位于最外侧。