[发明专利]时间分辨的双光栅干涉仪

权利要求书

1.一种时间分辨的双光栅干涉仪，包括至少一个光探测器，光探测器置于第二个光栅的后方，是由双光栅和双反射镜构成的等臂干涉仪，其特征在于，两光栅平行放置，两反射镜以与两光栅垂直的方向平行放置，置于两平行光栅之间。

2.按照权利要求1所述的时间分辨的双光栅干涉仪，其特征在于，

a)将来自第一个光栅的零级衍射光遮挡；b)来自第一个光栅的两对称衍射光束经两平行反射镜反射照射到第二个光栅的同一位置上；c)两光束透过第二个光栅后只产生一套衍射光斑；d)来自第二个光栅的一束或多束衍射光被探测。

3.按照权利要求1或2所述的时间分辨的双光栅干涉仪，其特征在于，在两光栅之间固定一个透明样品池，使其中一束衍射光垂直穿透样品池；向样品池注入待分析的液体或气体试样，同时监测第二个光栅的任一衍射光斑相位的变化对试样进行分析。

4.按照权利要求1或2所述的时间分辨的双光栅干涉仪，其特征在于，在两光栅之间固定一个薄膜样品，使其中一束衍射光垂直穿透薄膜样品，旋转薄膜样品使入射角改变，同时监测第二个光栅的任一衍射光斑相位的变化可测得薄膜的厚度。

5.一种时间分辨的双光栅干涉仪，包括至少一个光探测器，是由双光栅和一个平面反射镜构成的不等臂干涉仪，其特征在于，a)在两平行光栅之间放置一个平面反射镜将来自第一个光栅的一束衍射光反射到第二个光栅上；b)该反射光照射到的光栅区域与来自第一个光栅的另一束衍射光直接照射到第二个光栅上的区域相重合；c)两光束透过第二个光栅后只产生一套衍射光斑；d)在两光栅之间固定一个透明样品池，使照射到第二个光栅同一位置的两束光中的一束垂直穿透样品池；向样品池注入待分析的液体或气体试样，通过监测第二个光栅的衍射光相位的变化对试样进行分析。

6.按照权利要求1所述的时间分辨的双光栅干涉仪，其特征在于，由双光栅和双反射镜构成的三波干涉仪，a)来自第一个光栅的两对称衍射光束经两平行反射镜反射照射到第二个光栅上；b)两反射光照射到的第二个光栅区域与来自第一个光栅的另一束衍射光直接照射到的第二个光栅上的区域相重合；c)三光束透过第二个光栅后只产生一套衍射光斑；d)来自第二个光栅的一束或多束衍射光被探测。

7.按照权利要求1或2所述的时间分辨的双光栅干涉仪，其特征在于，利用微机械加工工艺把光栅和反射镜制作在同一基板上组成微小型双光栅干涉仪。