[发明专利]表面规则凹凸起伏的样品台及其制作方法

权利要求书

1、一种表面规则凹凸起伏的样品台，其特征在于，在平面基板上格状分布粒度在150～250nm范围的球状物，球状物表面有金属镀层，所有球状物背离基板一侧的表面共同构成样品台规则凹凸起伏表面。

2、根据权利要求1所述的表面规则凹凸起伏的样品台，其特征在于，平面基板材料为玻璃。

3、根据权利要求1所述的表面规则凹凸起伏的样品台，其特征在于，球状物材料为聚苯乙烯或者聚丙烯。

4、根据权利要求1所述的表面规则凹凸起伏的样品台，其特征在于，表面金属镀层为银层或者金层。

5、一种表面规则凹凸起伏的样品台的制作方法，其特征在于，将样品台基板水平放置于盛有挥发性溶剂的容器底部，倒入粒度在150～250nm的球状物，静置直至溶剂完全挥发，球状物自然沉积在基板上并呈格状分布，将容器放入镀液中，在球状物表面形成金属镀层。

6、根据权利要求5所述的表面规则凹凸起伏的样品台的制作方法，其特征在于，所述挥发性溶剂采用无水乙醇。

7、根据权利要求5所述的表面规则凹凸起伏的样品台的制作方法，其特征在于，所述镀液采用硝酸银，浓度为10～20％(wt)，经光照硝酸银分解，分解出的银沉积在球状物表面上，形成金属镀层，光照时间为30～60秒。

8、根据权利要求7所述的表面规则凹凸起伏的样品台的制作方法，其特征在于，金属镀层的厚度在80～120nm范围内。