[发明专利]用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置无效
| 申请号： | 200810050937.4 | 申请日： | 2008-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN101311831A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 冯晓国;赵晶丽;梁凤超;高劲松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人： | 赵炳仁 |
| 地址： | 130033吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 球面 器件 光刻 辅助 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，其特征在于，由可穿置 连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘(1)和旋扣式连接在底盘(1) 周缘壁上的盖板(2)构成，在所述底盘(1)周缘壁的下部设有至少三个均 布的台肩(11)；所述的盖板(2)顶部中心设有一垂向通孔，在该通孔中通 过弹簧(5)设置一可使之上下滑动的滑动轴(4)，该滑动轴(4)的下端固 设一弧形压板(3)。
2.根据权利要求1所述的用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，其特 征在于，是通过对应设置在底盘(1)周缘壁上的耳柱(8)和盖板(2)周壁 上的倒L形滑槽(21)实现盖板(2)和底盘(1)的旋扣式连接。
3.根据权利要求1所述的用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，其特 征在于，在所述底盘(1)周缘壁下部的台肩(11)根部设有导流槽(12)。
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