[发明专利]六自由度平台精密测量机构

权利要求书

1.一种六自由度精密测量机构，其主要由固定盘、随动盘和测量装置组成，其特征在于所说的固定盘(1)通过连接机构与随动盘(9)连接，固定盘(1)在测量时保持固定不动，随动盘(9)与被测物体连接，所说的连接机构包括摆动缸(3)、导杆总成(8)，其中的摆动缸(3)一端通过万向联轴节(2)与固定盘(1)连接，另一端与导杆总成(8)连接，导杆总成(8)可以在摆动缸(3)中自由伸缩滑动，导杆总成(8)的另一端通过万向联轴节(2)与随动盘(9)连接，所说的测量装置采用光栅尺传感器。

2.根据权利要求1所述的六自由度精密测量机构，其特征在于所说的光栅尺传感器包括固定底座(4)和测量头(5)两部分，光栅尺传感器的固定底座(4)通过直线导轨(11)固定到摆动缸(3)上，光栅尺传感器的测量头(5)通过连接件(6)固定到导杆总成(8)上的拔动臂总成(7)上。

3.根据权利要求1或2所述的六自由度精密测量机构，其特征在于与导杆总成(8)连接的摆动缸(3)的端口处设有防止导杆总成(8)滑出摆动缸(3)的限位装置。