[发明专利]圆柱体直径与形位误差综合测量仪

权利要求书

1、一种圆柱体直径与形位误差综合测量仪，包括底座(1)、安装在底座(1)上的立柱(2)、安装在立柱(2)上的横梁(3)，其特征在于：

在横梁(3)上粘贴有光栅尺(4)，在横梁(3)的上下前后四个侧面上安装有气浮块(5)，气浮块(5)通过螺纹与支撑板(6)相连接，在支撑板(6)上固定安装有与底座(1)垂直的Z轴支撑块(7)，在Z轴支撑块(7)上部安装有伺服电机(8)，伺服电机(8)通过同步带(9)与同步带轮(10)相连接，同步带轮(10)与主动摩擦轮(11)同轴连接，主动摩擦轮(11)和从动摩擦轮(12)夹持着摩擦杆(13)，摩擦杆(13)与Z轴(14)刚性连接，Z轴(14)通过汽缸杆(15)与支架(16)相连接，支架(16)固定在Z轴支撑块(7)上，Z轴支撑块(7)内部安装有四个气浮块(17)，四个气浮块(17)夹持着Z轴(14)，在Z轴(14)的侧面上粘贴有超精密光栅尺(43)，

在横梁(3)的右端安装有伺服电机(18)，伺服电机(18)通过同步带(19)与同步带轮(20)相连接，同步带轮(20)通过同步带(21)与同步带轮(22)相连接，同步带(21)与Z轴支撑块(7)相连接，

在底座(1)内部安装有转台座(23)，转台座(23)与传动轴轴承座(24)通过紧配合相连接，传动轴轴承座(24)内部安装有隔套(25)和第I轴承(26)、第II轴承(27)，第I轴承(26)、第II轴承(27)与传动轴(28)配合连接，传动轴(28)下端部安装有同步带轮(29)，同步带轮(29)通过同步带(30)与伺服电机(31)相连接，伺服电机(31)固定在连接座(32)上，连接座(32)与转台座(23)相连接，连接座(32)左端安装有角度编码器(33)，角度编码器(33)下端部安装有同步带轮(34)，同步带轮(34)通过同步带(35)与同步带轮(36)相连接，同步带轮(36)与传动轴(28)连接，

连接座(37)固定在传动轴(28)上端，连接座(37)通过销(38)与气浮轴(39)相连接，端盖(40)通过螺钉与连接盘(41)相连接，连接盘(41)通过螺钉与连接盘(42)相连接，连接盘(42)通过螺钉固定在转台座(23)上。

2、根据权利要求1所述的圆柱体直径与形位误差综合测量仪，其特征在于：底座(1)、立柱(2)、横梁(3)、Z轴(14)采用天然花岗岩材料。

3、根据权利要求1所述的圆柱体直径与形位误差综合测量仪，其特征在于：Z轴(14)为长方形立柱。

4、根据权利要求1所述的圆柱体直径与形位误差综合测量仪，其特征在于：立柱(2)和安装在立柱(2)上的横梁(3)组成龙门式支承结构。