[发明专利]阻隔材料气体渗透率的测量装置及测量方法

权利要求书

1、一种具有双真空密封结构的渗透气体取样装置，包括真空室(25)、气体室(37)、真空室法兰(26)、气体室法兰(36)和被测阻隔材料薄膜或薄片(29)，其特征在于：

①所述真空室法兰(26)设置有内、外侧密封圈(28、27)，所述真空室法兰(26)和所述气体室法兰(36)通过连接螺栓(35)连接，并把被测阻隔材料薄膜或薄片(29)密封在所述真空室和气体室之间；

②所述真空室法兰(26)上设置有真空沟道(31)，所述真空沟道(31)设置在内、外密封圈(28、27)之间；

③所述真空沟道(31)与抽气管道(32)、真空阀门(33)和真空泵(34)联通。

2、根据权利要求1所述的具有双真空密封结构的渗透气体取样装置，其特征在于，所述真空室法兰(26)与被测阻隔材料薄膜或薄片(29)之间设置有与支撑所述待测阻隔薄膜或薄片的多孔支撑板(30)。

3、根据权利要求1所述的具有双真空密封结构的渗透气体取样装置，其特征在于，所述真空沟道(31)内的气体压强达到低真空。

4、根据权利要求1所述的具有双真空密封结构的渗透气体取样装置，其特征在于，所述气体室(37)设置有一个充气管道(39)，充气管道(39)通过一个减压阀(40)连接一个气体瓶(41)，所述气体瓶(41)内装有被测的永久气体；所述气体室(37)还设置有一个放气管道(42)，该放气管道通过一个放气阀门(43)通向大气。

5、根据权利要求1或4所述的具有双真空密封结构的渗透气体取样装置，其特征在于，所述气体室(37)是一个恒湿恒温箱，真空法兰(26)和气体室法兰(36)处于该恒温恒湿箱内，真空室(25)管道穿过该恒温恒湿箱外壳(38)，与法兰(2)相连通。

6、根据权利要求1所述的具有双真空密封结构的渗透气体取样装置，其特征在于，所述内、外侧密封圈(28、27)为真空橡胶密封圈。

7、一种基于上述具有双真空密封结构的渗透气体取样装置的阻隔材料气体渗透率测量装置，其特征在于，包括上述具有双真空密封结构的渗透气体取样装置(1)、超高真空系统、质谱规和校准装置，其中所述具有双真空密封结构的渗透气体取样装置通过法兰(2)、真空阀门(4)与质谱规(3)、限流抽气管道(6)、校准装置相连接。

8、根据权利要求7所述的基于具有双真空密封结构的渗透气体取样装置的阻隔材料气体渗透率测量装置，其特征在于，所述校准装置包括真空阀门(19)、氦标准漏孔(20)、针阀(23)、减压阀(22)和校准气体瓶(21)；其中所述针阀(23)的入口通过减压阀(22)与所述校准气体瓶(21)连接，其出口与质谱规(3)、限流抽气管道(6)、真空阀门(4)连接。

9、根据权利要求8所述的基于具有双真空密封结构的渗透气体取样装置的阻隔材料气体渗透率测量装置，其特征在于，所述校准装置还包括气压表(24)；所述气压表(24)连接在针阀(23)与减压阀(22)之间的管道上。

10、根据权利要求7所述的基于具有双真空密封结构的渗透气体取样装置的阻隔材料气体渗透率测量装置，其特征在于，所述校准气体瓶(21)内装有He、Ne、Ar、Kr、CO₂和O₂校准气体，其纯度高于3N。

11、根据权利要求7或10所述的基于具有双真空密封结构的渗透气体取样装置的阻隔材料气体渗透率测量装置，其特征在于，所述校准气体瓶(21)用多个单种气体瓶并联的结构代替，每个单种气体瓶应各自具有一个出口减压阀。

12、根据权利要求7所述的基于具有双真空密封结构的渗透气体取样装置的阻隔材料气体渗透率测量装置，其特征在于，所述超高真空系统包括真空法兰(5、7)、限流抽气管道(6)、超高真空阀门(8)、超高真空阀门(9)、涡轮分子泵(11)、超高真空阀门(10)，溅射离子泵(12)、低真空阀门(13)、电磁阀(14)、低真空泵(15)、粗抽管道(17)，粗抽阀(18)和真空规(16)构成；所述涡轮分子泵(11)和溅射离子泵(12)分别通过超高真空阀门(9、10)并联后，通过超高真空阀门(8)与限流抽气管道(6)的真空法兰(7)连接；所述限流抽气管道(6)的另一端真空法兰(5)与质谱规(3)、真空阀门(4)和校准装置连接。