[发明专利]一种高温加热的真空蒸发镀膜装置

权利要求书

1.一种高温加热的真空蒸发镀膜装置，包括钟罩(9)、基片夹(5)和设置在基座(1)上的蒸发室(4)，所述蒸发室(4)内设置有加热装置，其特征在于，所述基片夹(5)、蒸发室(4)和加热装置为至少两组；各基片夹安装在基片夹基座(6)上；还包括驱动基片夹基座(6)与基座(1)相对升降、旋转的驱动装置；各蒸发室独立设置；所述加热装置采用的是蒸发源电极(2)和铠装管状加热器(3)，所述铠装管状加热器(3)以内螺旋的形式设置在各蒸发室(4)的内壁上；所述蒸发室(4)采用不锈钢隔热层材料。

2.如权利要求1所述的高温加热的真空蒸发镀膜装置，其特征在于，所述驱动装置设置在钟罩(9)上，它包括电机(8)和与基片夹基座(6)连接的机械手(7)。

3.如权利要求1所述的高温加热的真空蒸发镀膜装置，其特征在于，所述基座(1)下方还设置有底座(14)，所述驱动装置设置在基座(1)与底座(14)之间。

4.如权利要求1所述的高温加热的真空蒸发镀膜装置，其特征在于，还包括温控装置(10)，用于对蒸发室内温度进行监测、控制。