[发明专利]波导干涉传感器

权利要求书

1、一种波导干涉传感器，其特征在于：选取马赫-曾德尔干涉仪的一个2X2波导耦合器分束比为1∶1，用一小段波导将其两个输出口熔接，或者直接用一小段波导(光纤)以中部卷过来制作分束比为1∶1的波导耦合器，再与另一个2X2波导耦合器连接构成；在波导非线性环镜作用下，以上结构形成迈克尔逊光路，两路反射处具有相同的相位变化和相同的反射率。

2、按权利要求1所述波导干涉传感器，其特征在于：波导干涉传感器的一臂上具有改变光程的传感元件，另一臂作为参考光传输波导。

3、按权利要求2所述波导干涉传感器，其特征在于：波导干涉传感器的一臂断开，传感元件位于波导端面。

4、按权利要求1所述的波导干涉传感器，其特征在于：具有相位或频率(波长)解调的传感器，波导可以是多模、单模、保偏波导和保偏波导耦合器；光电转换器是单列、阵列探测器或光谱仪。

5、按权利要求1所述的波导干涉传感器，其特征在于：集成光学技术制作波导，传感器更小、紧凑，在传感臂上设置电极构成电光调制器。