[发明专利]一种高分子辅助沉积高温超导涂层导体超导层的方法无效
申请号: | 200810044289.1 | 申请日: | 2008-04-25 |
公开(公告)号: | CN101271956A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 王文涛;赵勇;蒲明华;木丽云 | 申请(专利权)人: | 西南交通大学 |
主分类号: | H01L39/24 | 分类号: | H01L39/24;C04B35/45 |
代理公司: | 成都博通专利事务所 | 代理人: | 陈树明 |
地址: | 610031四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高分子 辅助 沉积 高温 超导 涂层 导体 方法 | ||
1、一种高分子辅助沉积高温超导涂层导体超导层的方法,其具体作法是:
a、前驱溶液制备:将稀土乙酸盐、乙酸钡、乙酸铜按稀土∶钡∶铜的化学计量比1∶2∶3的比例溶解于丙酸中,得前驱溶液;
b、涂层胶体制备:在a步的前驱溶液中,加入高分子材料:聚乙烯醇缩丁醛(PVB)或聚乙二醇(PEG)或聚乙烯基吡咯烷酮(PVP),加入的高分子材料与前驱溶液的质量比为2-8∶100,充分搅拌,得到涂层胶体;
c、涂敷与干燥:将b步制备的涂层胶体涂敷于基片上,在基片上形成薄膜,在100-200℃温度范围内进行干燥,干燥时间为5-20分钟;
d、分解热处理:将c步干燥后的薄膜置于管式炉中,在氩气气氛保护下,以1-5℃/min的速度从室温升至100-150℃;然后向炉中通入露点为10-20℃的水蒸汽,同时通入氩气形成潮湿的氩气保护气氛,以0.25-1.5℃/min的速度升温至450-500℃,保温0.5-2小时;随后再在干燥的氩气气氛中,自然冷却至室温;
e、成相热处理:再向d步的管式炉中通入露点为20-50℃的水蒸汽,并同时通入氩气,形成潮湿的氩气保护气氛,将炉温以15-40℃/min快速升温至800-900℃,保温5-15分钟,对薄膜进行短时的高温热处理;再以1-15℃/min降温至750-780℃,保温1-3小时;然后在干燥的氩气保护气氛中,降温至350-500℃;最后将炉中气氛转变为干燥的氧气,保温1-5小时,进行低温渗氧退火处理,然后冷却至室温,即在基体上制得稀土钡铜氧(REBa2Cu3O7-x)超导层。
2、如权利要求1所述的一种高分子辅助沉积高温超导涂层导体超导层的方法,其特征在于:所述c步中涂敷的具体方法是旋涂或浸涂或槽涂。
3、如权利要求1所述的一种高分子辅助沉积高温超导涂层导体超导层的方法,其特征在于:所述a步的前驱溶液制备步骤中,稀土乙酸盐中的稀土元素为:钇(Y)、钕(Nd)、钐(Sm)、铕(Eu)、钆(Gd)、镝(Dy)、钬(Ho)、铒(Er)中的一种。
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