[发明专利]实现灯丝夹完全定位的阴极绝缘块

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体生产设备相关的零部件，尤其涉及一种实现灯丝夹三面定位的阴极绝缘块。

背景技术

离子注入机是由于半导体材料的掺杂需要而于上世纪60年代问世。虽然有一些不同的类型，但它们一般都由以下几个主要部分组成：(1)离子源，用于产生和引出某种元素的离子束，这是离子注入机的源头；(2)加速器，对离子源引出的离子束进行加速，使其达到所需的能量；(3)离子束的质量分析(离子种类的选择)；(4)离子束的约束与控制；(5)靶室；(6)真空系统。

GSD离子注入机ELS型离子源头的阴极组件如图1和图2所示，由灯丝3、灯丝夹4、阴极1、阴极安装板2、阴极绝缘块7和一些固定螺丝5组成，其中阴极绝缘块不仅将各个部件组合在一起，而且起到定位和绝缘各部件的作用。现有的阴极绝缘块在设计上存在不足，阴极绝缘块7上面的两条定位肋骨6在阴极绝缘块7的中间位置(见图4)，仅对灯丝夹4的2个定位面8起定位作用，该2个定位面8是由位于中间位置的定位肋骨6与灯丝夹4形成的(见图2，当定位良好时，灯丝3位于阴极1的中心位置)，这种结构很容易造成灯丝夹在安装时或安装后因碰撞而移位。例如，在安装固定螺丝5时，在旋转摩擦力的作用下，如果手指不用力顶住灯丝夹4，灯丝夹4很容易发生移位，造成某一侧灯丝3与阴极1过于靠近容易短路(见图3)。又如，在运输过程中，如果灯丝夹被碰撞到，灯丝夹也很容易发生类似的移位。当灯丝夹移位后，安装在灯丝夹上面的灯丝与阴极之间的间隙就会变小，在灯丝通电工作后就会发热膨胀，这样灯丝很容易与阴极接触造成短路。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种实现灯丝夹三面定位的阴极绝缘块，克服了灯丝夹安装时较难在阴极绝缘块上定位，容易发生灯丝夹移位，导致灯丝与阴极短路的缺陷。

为解决上述技术问题，本发明提供一种实现灯丝夹三面定位的阴极绝缘块，该阴极绝缘块上设有四条定位肋骨，其中两条定位肋骨位于阴极绝缘块的中间位置，另外两条定位肋骨分别位于阴极绝缘块的左右两侧。

所述位于中间位置的定位肋骨与位于左右两侧的定位肋骨之间形成两个凹槽，该凹槽用于和灯丝夹配合定位。

所述灯丝夹嵌入所述的凹槽，并采用固定螺丝固定定位。

所述灯丝夹具有三个定位面，其中两个定位面是由位于中间位置的定位肋骨与灯丝夹形成的，另一个定位面是由位于左右两侧位置的定位肋骨与灯丝夹形成的。

和现有技术相比，本发明具有以下有益效果：本发明在阴极绝缘块安装灯丝夹的位置的两侧，各增加一条定位肋骨，确保灯丝夹有3个定位面，能牢牢地定位在阴极绝缘块上，不会因安装时定位不良、或因固定螺丝转动时摩擦力、或因外力的碰撞造成灯丝夹移位，彻底杜绝因灯丝夹移位而造成的灯丝与阴极短路，降低设备的故障率。

附图说明

图1是现有的GSD离子注入机ELS型离子源头的阴极组件立体分解示意图；

图2是现有的GSD离子注入机ELS型离子源头的阴极组件在定位良好情况下的示意图；

图3是现有的GSD离子注入机ELS型离子源头的阴极组件在定位不良情况下的示意图；

图4是现有的阴极绝缘块的结构示意图；

图5是本发明实现灯丝夹三面定位的阴极绝缘块的结构示意图；

图6是本发明实现灯丝夹三面定位的阴极绝缘块的定位示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。

本发明将现有阴极绝缘块的二面定位法，改成三面定位法，即在阴极绝缘块的左右两侧各增加一条定位肋骨9，加上原本在阴极绝缘块中间位置的2条定位肋骨6，该阴极绝缘块一共有四条定位肋骨，位于中间位置的定位肋骨6与位于左右两侧的定位肋骨9之间形成两个凹槽11，该凹槽11用于与灯丝夹配合定位(见图5)。

如图6所示，阴极绝缘块在安装灯丝夹时，使灯丝夹4嵌入在定位肋骨6和定位肋骨9的中间位置(即定位肋骨6和定位肋骨9之间形成的两个凹槽11，见图5)，并使灯丝夹4自然下垂到底，然后用固定螺丝5固定，确保灯丝夹4有3个定位面10(其中的2个定位面是由位于中间位置的定位肋骨6与灯丝夹4形成的，另一个定位面是由位于左右两侧位置的定位肋骨9与灯丝夹4形成的)，能牢牢地定位在阴极绝缘块上，从而保证灯丝夹4不会因固定螺丝的旋转摩擦力或者被外力碰撞而移位。