[发明专利]基于光纤阵列的可编程式光阑及其使用方法无效

专利信息
申请号: 200810043746.5 申请日: 2008-08-28
公开(公告)号: CN101661122A 公开(公告)日: 2010-03-03
发明(设计)人: 王雷 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: G02B5/00 分类号: G02B5/00;G02B6/06;G03F7/20
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人: 丁纪铁
地址: 201206上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 基于 光纤 阵列 程式 光阑 及其 使用方法
【权利要求书】:

1.一种基于光纤阵列的可编程式光阑,包括光阑体,其特征在于,

所述光阑体上有光纤阵列,光纤阵列由两个以上光纤单元排列组成,每个单独的光纤单元独立传播光线;

由可编程的控制电路连接每一个光纤单元,控制电路控制每一个光纤单元的导通或阻断。

2.如权利要求1所述的基于光纤阵列的可编程式光阑,其特征在于,所述光纤阵列由2至1000个光纤单元组成。

3.如权利要求1所述的基于光纤阵列的可编程式光阑,其特征在于,每个光纤单元上设置有由控制电路控制的遮光开关,遮光开关与控制电路相连接。

4.如权利要求1所述的基于光纤阵列的可编程式光阑的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:

把设计图形转化为点阵图形数据;

将前述点阵图形数据导入控制光纤阵列的控制电路;

控制电路控制光纤阵列中单个光纤单元的导通或阻断形成点阵图案;

光阑形成点阵图案之后,通过成像系统或直接照射进行曝光或检测。

5.如权利要求4所述的基于光纤阵列的可编程式光阑的使用方法,其特征在于,每个光纤单元上设置有由控制电路控制的遮光开关;

当需要该光纤单元导通时,控制电路控制遮光开关打开,该光路导通;

当需要该光纤单元阻断时,控制电路控制遮光开关关闭,该光路阻断。

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