[发明专利]基于光纤阵列的可编程式光阑及其使用方法无效
| 申请号: | 200810043746.5 | 申请日: | 2008-08-28 | 
| 公开(公告)号: | CN101661122A | 公开(公告)日: | 2010-03-03 | 
| 发明(设计)人: | 王雷 | 申请(专利权)人: | 上海华虹NEC电子有限公司 | 
| 主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;G02B6/06;G03F7/20 | 
| 代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁纪铁 | 
| 地址: | 201206上*** | 国省代码: | 上海;31 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 光纤 阵列 程式 光阑 及其 使用方法 | ||
1.一种基于光纤阵列的可编程式光阑,包括光阑体,其特征在于,
所述光阑体上有光纤阵列,光纤阵列由两个以上光纤单元排列组成,每个单独的光纤单元独立传播光线;
由可编程的控制电路连接每一个光纤单元,控制电路控制每一个光纤单元的导通或阻断。
2.如权利要求1所述的基于光纤阵列的可编程式光阑,其特征在于,所述光纤阵列由2至1000个光纤单元组成。
3.如权利要求1所述的基于光纤阵列的可编程式光阑,其特征在于,每个光纤单元上设置有由控制电路控制的遮光开关,遮光开关与控制电路相连接。
4.如权利要求1所述的基于光纤阵列的可编程式光阑的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:
把设计图形转化为点阵图形数据;
将前述点阵图形数据导入控制光纤阵列的控制电路;
控制电路控制光纤阵列中单个光纤单元的导通或阻断形成点阵图案;
光阑形成点阵图案之后,通过成像系统或直接照射进行曝光或检测。
5.如权利要求4所述的基于光纤阵列的可编程式光阑的使用方法,其特征在于,每个光纤单元上设置有由控制电路控制的遮光开关;
当需要该光纤单元导通时,控制电路控制遮光开关打开,该光路导通;
当需要该光纤单元阻断时,控制电路控制遮光开关关闭,该光路阻断。
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