[发明专利]旋转干燥机转台位置确认装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种旋转干燥机转台位置确认装置，本发明还涉及一种旋转干燥机转台位置确认方法。

背景技术

如图1所示旋转干燥机，包括：转台底盘1，用于控制转台停在取入硅片位置或取出硅片位置，其上有两个凸块2和一个底盘圆孔3，两个凸块2以转台底盘1对称分布在转台底盘1外缘。一个凸块传感器4，设置于旋转干燥机转台初始位置时与一凸块2对应的位置，用于检测转台底盘1的凸块2。一个圆孔传感器5，其与底盘圆孔3距离转台底盘中心等距，且设置在凸块传感器4与转台底盘中心之间的位置，用于检测转台底盘圆孔3。旋转干燥机是通过PLC控制模块，控制旋转干燥机转台工作，判断旋转干燥机转台位置的。

旋转干燥机工作时，圆孔传感器5检测到底盘圆孔3后开始通过凸块传感器4对凸块2计数，单数时机械手臂取出硅片，双数时机械手臂取入硅片。当凸块传感器4受到干扰或发生错误时，常常错误计数而导致取入硅片或取出硅片时转台正好转反，而设备本身报警机制只能判断转台停止的位置是否为180度的整数倍，转反的转台无法被识别出，设备将继续作业。

基于此，有关技术人员提出在转台的转轴上安装一组检测探针6与传感器7(如图2)，通过检测探针6的位置并将传感器7输出信号接入PLC(可编程逻辑电路，对设备内部各种输入输出信号进行逻辑运算的模块)闲置的端口，同时更改该端口的PLC程序，达到判断转台位置正确与否以及报警的功能。但由于更改PLC程序需要请设备供应商的软件工程师实施，费用昂贵。

如何利用旋转干燥机现有的感应信号及PLC模块程序进行操作，达到判断转台停止时位置是否正确，防止转台转反的目的成为本领域技术人员有待研发的一个课题。

本发明的创作者根据旋转干燥机自身的转台固定汽缸顶出传感器、机械臂抓手合拢传感器及机械臂抓手打开传感器产生的感应信号，配合新增的传感器及使用继电器组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑判断实现旋转干燥机转台位置确认，当位置反转时利用PLC根据已有的转台固定汽缸顶出确认信号停止转台工作并报警。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种旋转干燥机转台位置确认装置，它可以使用简单的传感器结构组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑判断实现旋转干燥机转台硅片取入和取出位置确认，当转台位置反转时利用PLC已有程序停止转台工作并报警。为此，本发明还要提供一种旋转干燥机转台位置确认方法。

为了解决以上技术问题，本发明的旋转干燥机转台位置确认装置，用于判定旋转干燥机转台位置是否准确，包括：

机械臂抓手合拢传感器，用于检测机械臂抓手合拢感应信号；

机械臂抓手打开传感器，用于检测机械臂抓手打开感应信号；

转台固定汽缸顶出传感器，用于固定转台的汽缸完全顶出后向PLC控制模块发出的反馈信号；

硅片取入位置传感器，设置于旋转干燥机转台初始位置时底盘圆孔3对应的位置，用于检测取入硅片时位置确认信号；

硅片取出位置传感器，其与硅片取入位置传感器以转台底盘中心对称设置，用于检测取出硅片时位置确认信号；

逻辑运算模块，用于将所述机械臂抓手合拢传感器、机械臂抓手打开传感器、转台固定汽缸顶出传感器、硅片取入位置传感器及硅片取出位置传感器的感应信号经过逻辑运算产生转台位置固定确认信号，接入PLC控制模块；

及PLC控制模块，用于根据转台停止时是否接收到转台位置固定确认信号判断旋转干燥机转台位置是否反转。

本发明基于上述旋转干燥机转台位置确认装置的位置确认方法，包括以下步骤：

(1)通过硅片取入位置传感器、硅片取出位置传感器、机械臂抓手打开传感器、机械臂抓手合拢传感器和转台固定汽缸顶出传感器，分别采集：取入硅片时位置确认信号、取出硅片时位置确认信号、机械臂抓手打开确认信号、机械臂抓手合拢确认信号、及转台固定汽缸顶出确认信号；

(2)将取入硅片时位置确认信号和机械臂抓手打开确认信号进行与门逻辑运算，产生第一运算信号；将取出硅片时位置确认信号和机械臂抓手合拢确认信号进行与门逻辑运算，产生第二运算信号；将第一运算信号与第二运算信号进行或门逻辑运算，产生第三运算信号；将第三运算信号与转台固定汽缸顶出确认信号进行与门逻辑运算，产生第四运算信号；

(3)将步骤(2)所得到的第四运算信号接入PLC控制模块，当PLC控制模块检测到转台停止且未接收到转台位置固定确认信号则判定转台位置反转。

本发明使用简单的传感器结构组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑判断实现旋转干燥机转台硅片取入和取出位置确认，当转台位置反转时利用PLC已有程序停止转台工作并报警。