[发明专利]低热效应投影物镜有效
| 申请号： | 200810042738.9 | 申请日： | 2008-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101354476A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 武珩;储兆祥;赵滨 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/00;G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低热 效应 投影 物镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种低热效应投影物镜，包括从物方到像方沿光轴依次排列的第一至第十二透镜，所述第六和第七透镜之间设有光阑，所述第一至第六透镜与所述第十二至第七透镜关于所述光阑对称；其特征在于：所述第一、第二透镜具有负光焦度，所述第三、第四透镜具有正光焦度，所述第五、第六透镜组成正负光焦度组合；所述的十二片透镜中，全部采用了10mm内部透光率达到0.999的材料制成，且所述的十二片透镜均不包含非球面表面，热效应敏感度系数KLT/LH相对最大的第五块镜片使用CAF2材料。
2.根据权利要求1所述的投影物镜，其特征在于：所述第一、第二透镜组成负光焦组；所述第一透镜为双凹透镜，使用SILICA材料制成；所述第二透镜为凹面正对物面的弯月型透镜，使用BSL7Y材料制成。
3.根据权利要求1所述的投影物镜，其特征在于：所述第三、第四透镜组成正光焦组；所述第三透镜为近似平凸透镜，其曲率较小的一面朝向物方，使用BSL7Y材料制成；所述第四透镜为双凸透镜，使用BSL7Y材料制成。
4.根据权利要求1所述的投影物镜，其特征在于：所述第五透镜为双凸透镜，使用CAF2材料制成；所述第六透镜为双凹透镜，使用PBL1Y材料制成。
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