[发明专利]一种热反射板结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种反射板结构，特别涉及一种热反射板结构。

背景技术

在现有技术的真空镀膜过程中，通常需要将衬底加热到一定的温度，以提高所镀膜层的品质，如非晶硅薄膜太阳能电池在镀透明导电氧化物膜和非晶硅膜时需要将玻璃衬底加热至150-300℃。在连续性的生产线作业过程中，通常使用红外加热的方式将衬底加热到所需的温度。在使用红外灯管加热衬底的过程中，为了减少相应的红外线辐射，同时增加热能的利用率，需要使用热反射板将红外线辐射限制在一定范围内，目前通常使用不锈钢板作为热反射层，如图1所示，其中1为衬底，2为红外加热灯管，3为不锈钢反射板。

现有技术在加热衬底1的过程中，如图1所示：红外加热过程中，为了提高热能的利用率，通常在红外加热灯管2上方加上不锈钢反射板3，将向上方辐射的红外线反射回来，同时还减少了热辐射对真空腔体的加热。使用不锈钢红外线反射板3后，红外线沿红外线反射光路7被反射，热能的利用率提高，减小了对红外灯管加热功率的要求，降低了单位能耗。

但是图1所示的热反射板在高温下，如六七百度时，因不锈钢片热膨胀系数过大，经常会出现大幅变形而挤压、损坏红外加热灯管的问题，如图2所示，在加热过程中，位于红外灯管上方的不锈钢反射板3在高温下易发生变形，不锈钢反射板3在六七百度时变形已极为严重，变形后的不锈钢反射板3挤压红外灯管2易使其破裂，该问题在不锈钢反射板3面积较大时尤为严重。为解决此问题，常用的方案是增加不锈钢反射板3与红外灯管2之间的距离，并增加不锈钢反射板3的厚度，但是这样会增加热辐射被限制的空间，对红外灯管2的功率要求增大，此外，在长期使用过程中，不锈钢反射板3仍会发生变形，同时整个体系的单位能耗也无谓增加。

综上可知，现有技术的缺点是：

1.在对衬底加热的过程中，不锈钢反射板容易受热变形，压迫并破坏红外灯管，造成经济损失和不安全因素。

2.加大不锈钢热反射板与红外灯管之间的间距后，增加了热辐射被限制的空间，对红外灯管的功率要求增大。

3.加大不锈钢热反射板与红外灯管之间的间距后，部分热能被浪费，加热效果不佳，整个体系的单位能耗增加。

发明内容

本发明的目的是提供一种热反射板结构，能够防止不锈钢反射板受热变形而损坏红外灯管，确保生产安全。能有效地提高加热效果，减小能耗。

本发明的构思是：由于石英玻璃是透紫外线、可见光、近红外线性能最好的玻璃，能耐1200℃的高温，硬度大而且受热形变极小，本发明使用石英玻璃架托住不锈钢反射板而构建的红外线反射装置，避免不锈钢反射板因为受热变形而接触下方灯管。此外，石英玻璃自身也能反射一部分红外线，反射率约8％，使得它与不锈钢片组成的复合体系热反射性能更为优异。采用石英玻璃托架作支撑力，只需用很薄的不锈钢片来反射红外线，减少了不锈钢的用量，融合了石英玻璃在高温下强度高和不锈钢反射板的热反射性能好的优点。

本发明提供一种热反射板结构，包括依次叠加的若干红外加热灯管、不锈钢反射板，还包括石英玻璃托架，该托架设置于靠近不锈钢反射板下方。

优选地，所述该托架包括支撑平面和支撑脚，支撑平面覆盖红外加热灯管。

优选地，所述支撑脚设置在支撑平面的边缘。

显而易见，石英玻璃能反射部分红外辐射；同时由于，支撑力来自于石英玻璃托架，只需很薄的不锈钢片；较之于使用厚的不锈钢反射板，该设计方案成本低；石英玻璃托架和不锈钢片结合构架的热反射装置寿命更长。

一种热反射板结构的应用，该热反射板结构用于加热大面积衬底。

优选地，该热反射板结构用于非晶硅薄膜太阳能电池的制备、透明导电玻璃的制备、Low-E(Low Eradiation，低辐射)玻璃的制备、以及TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体管液晶显示器)的制备等过程中衬底的加热。

优选地，所述衬底可以是刚性衬底(普通玻璃，石英玻璃，钠钙玻璃，不锈钢等)，也可以是柔性衬底(钛，有机聚合物等)。

本发明由于采用了以上技术方案，使之与现有技术相比，具有以下优点和积极效果：

1.防止在对衬底加热的过程中，不锈钢反射板受热变形，避免了经济损失并减少了不安全因素。

2.减少了热辐射对真空腔体的加热，即减小了对红外灯管的功率要求。

3.充分利用热能，提高加热效果，减小整个体系的单位能耗。

4.减少了不锈钢板的厚度，降低了成本。

附图说明