[发明专利]光刻工艺的监控方法及系统

权利要求书

1.一种光刻工艺的自动监控方法，用于光刻工艺装置中执行的工序单元时间参 数的监控，其特征在于，它包括以下步骤：

a、采集工序单元动作的时间，其是通过所述光刻工艺装置工序单元识别码采集 工序单元动作的时间；其中，所述工序单元的识别码包括光刻工艺装置：辅助 装置和曝光装置，执行的工序单元识别码；所述辅助装置执行若干种工序单元， 各工序单元具有发生或结束的动作；所述辅助装置的工序单元识别码包括工序 单元种类识别码和工序单元动作码；b、存储工序单元动作的时间；c、判断动 作的工序单元是否为监控工序单元，其中，若为监控工序单元，执行步骤d，若 否，则执行步骤a；d、按监控时间参数与监控的工序单元动作时间的关系式， 计算监控时间参数；e、判断步骤d计算出的监控时间参数是否符合标准时间范 围，其中若不符合标准时间范围则暂停监控的工序单元。

2.如权利要求1所述的光刻工艺的自动监控方法，其特征在于，所述步骤b存 储工序单元动作的时间时对应存储所述工序单元的识别码。

3.如权利要求1所述的光刻工艺的自动监控方法，其特征在于，所述步骤c判 断动作的工序单元是否为监控工序单元是通过判断动作的工序单元的识别码是 否为监控工序单元的识别码。

4.如权利要求1所述的光刻工艺的自动监控方法，其特征在于，所述工序单元 种类识别码为十六进制的四位数，所述工序单元动作码为十六进制的两位数。

5.如权利要求1所述的光刻工艺的自动监控方法，其特征在于，所述曝光装置 执行曝光工序单元；所述曝光工序单元识别码为曝光工序单元结束编码。

6.如权利要求1所述的光刻工艺的自动监控方法，其特征在于，监控时间参数 为上后烤工序单元持续时间时，所述监控工序单元为光刻工艺装置中辅助装置 的上后烤工序单元，所述步骤d监控时间参数与监控工序单元动作时间的关系 式为上后烤工序单元持续时间等于上后烤工序单元的结束动作的时间减去上后 烤工序单元发生时间。

7.如权利要求1所述的光刻工艺的自动监控方法，其特征在于，监控时间参数 为曝后烤延迟时间时，所述监控工序单元为光刻工艺装置中辅助装置的曝后烤 工序单元，所述步骤d监控时间参数与监控工序单元动作时间的关系式为曝后 烤工序单元延迟时间等于曝后烤工序单元发生时间减去曝光工序单元结束时 间。

8.一种光刻工艺的自动监控系统，用于光刻工艺装置中执行的工序单元的时间 参数监控，其特征在于，包括：

数据采集模块，用于工序单元动作时采集所述工序单元动作的时间；

数据存储模块，用于存储数据采集模块采集的工序单元动作的时间，其内还存 储有待监控时间参数的标准时间范围；

判断模块，用于判断动作的工序单元是否为监控工序单元；

计算模块，用于当判断模块判断动作的工序单元为监控工序单元时，基于数据 存储模块存储的工序单元动作的时间和监控时间参数与工序单元动作时间的关 系式计算监控时间参数；

比较模块，用于判断计算模块计算出的监控时间参数是否符合所述数据存储模 块存储的监控时间参数的标准时间范围；

控制模块，用于当比较模块判断计算模块计算出的监控时间参数不符合标准时 间范围时暂停监控工序单元的动作。

9.如权利要求8所述的自动监控系统，其特征在于，工序单元触发模块，用于 光刻工艺装置动作时触发所述数据采集模块。

10.如权利要求9所述的自动监控系统，其特征在于，所述工序单元触发模块 通过所述光刻工艺装置工序单元动作时的工序单元识别码触发数据采集模块。

11.如权利要求10述的自动监控系统，其特征在于，所述数据存储模块还存储 有工序单元动作时间对应的所述工序单元识别码。

12.如权利要求10所述的自动监控系统，其特征在于，所述判断模块是基于工 序单元的识别码是否为监控工序单元的识别码进行判断。