[发明专利]一种微光刻照明光瞳的整形结构有效
| 申请号： | 200810039150.8 | 申请日： | 2008-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN101320216A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 李仲禹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微光 明光 整形 结构 | ||
1.一种微光刻照明光瞳的整形结构，包括依次光学连结的衍射光学元件、连续变焦透镜组，其特征在于：还包括后接于所述连续变焦透镜组的由两个凸圆锥镜组成的光瞳调节器。
2.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：所述的两个凸圆锥镜具有相似的外形尺寸。
3.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：所述的两个凸圆锥镜的母线具有相同的斜率。
4.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：所述的两个凸圆锥镜，其后一个凸圆锥镜的母线斜率略微低于前一个凸圆锥镜的母线斜率。
5.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：入射光束经过所述的两个凸圆锥镜中的第一个凸圆锥镜后先向内偏折，然后发散，再由第二个凸圆锥镜准直出射。
6.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：在产生圆形光瞳截面时，所述两个凸圆锥镜始终保持一定距离。
7.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：所述的衍射光学元件用于产生特定的照明模式。
8.根据权利要求7所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：所述的特定的照明模式包括圆形、环形、双极或四极模式。
9.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：所述的连续变焦透镜组用于改变光瞳截面的大小。
10.根据权利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形结构，其特征在于：由所述两个凸圆锥镜组成的光瞳调节器用于调节光瞳截面上内环的大小。
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