[发明专利]一种可擦写可读出的薄膜型电阻开关器件及其制备方法

权利要求书

1.一种可擦写可读出的薄膜型电阻开关器件，其特征在于该器件结构组成依次为：金属底电极、功能介质层、金属顶电极，这里，金属底电极为铜膜，厚度为150nm-300nm，金属顶电极为铝膜，厚度为80nm-150nm；功能介质层为由铜底电极在硫氰溶液中吸附硫氰，然后自然固化形成的聚硫氰薄膜。

2.一种如权利要求1所述的可擦写可读出的薄膜型电阻开关器件的制备方法，其特征在于具体步骤为：在平整的绝缘基板上用真空热蒸发法蒸镀铜膜，作底电极，铜膜厚度为150nm-300nm；在0℃以下，配置硫氰的乙醚溶液或者二氯甲烷溶液；在0℃以下用乙醇稀释至浓度为10^-1～10^-5mol/l；将铜底电极浸入到上述溶液中，浸泡3分钟～10小时；取出铜底电极，用大量乙醇充分淋洗，自然凉干或者用电吹风吹干；然后在洁净的大气环境中自然固化2～10小时，在铜底电极上形成聚硫氰薄膜；最后利用真空热蒸发方法沉积铝膜作为顶电极，铝膜厚度为80nm-150nm。