[发明专利]具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片

权利要求书

1、一种具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，膜系结构是以非对称Fabry-Perot结构为基础的多重介质-金属复合膜系，其特征在于：所述的膜系结构为：

Sub|(HL)^m1H(α₁LHLH)(α₂LHLH)……(α_qLHLH)L(HL)^m2βMP|Air，其中，Sub为光学薄膜基片，Air为空气，H、L分别为1/4波长光学厚度的高、低折射率材料，α₁、α₂……α_q为紧邻其后的L间隔层的厚度系数，其中，q为(αLHLH)重复单元的个数，q为正整数，M为金属层，β为金属层的厚度，P为导纳匹配层，m₁、m₂为相应的(HL)重复单元的个数。

2、根据权利要求1所述的具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，其特征在于：所述的薄膜为硬膜系材料TiO₂和SiO₂的组合，其中，TiO₂为高折射率材料，SiO₂为低折射率材料。

3、根据权利要求1所述的具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，其特征在于：所述的薄膜为软膜系材料ZnS和MgF₂的组合，其中，ZnS为高折射率材料，MgF₂为低折射率材料。

4、根据权利要求1或2或3所述的具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，其特征在于：所述膜系结构中的金属层M为钨、铬、铁、镍、铅、铑或Inconel合金。

5、根据权利要求1或2或3所述的具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，其特征在于：所述膜系结构中的导纳匹配层P，为高折射率材料单层膜系，P＝γL或γH，其中，γ为导纳匹配层的厚度系数。

6、根据权利要求1或2或3所述的具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，其特征在于：所述膜系结构中的导纳匹配层P，为高、低折射率材料交叠的多层膜系，P＝γ₁Lγ₂H……γ_nL，其中，γ₁、γ₂……γ_n为其对应的高、低折射率材料的厚度系数，n为正整数。

7、根据权利要求1所述的具有宽的低反射旁通带的多峰窄带反射滤光片，其特征在于：反射峰的个数由L间隔层的厚度系数α₁、α₂……α_q的个数q决定，反射峰的位置由厚度系数α₁、α₂……α_q调整，反射峰的高度通过m₁来调整，窄带反射峰的半宽度可通过m₂来调整，低反射旁通带的宽度和深度由金属层的厚度β以及导纳匹配层P调整。