[发明专利]一种多功能介电泳操控微电极片上系统及其制作方法

权利要求书

1、一种多功能介电泳操控微电极片上系统，其特征在于：综合考虑微电极形貌与间距、材料与电极尺寸比例对操控电场分布的影响和生产研究的各种介电泳操控需求，通过微加工技术在一个片上系统里面制作出一系列的不同形貌和间距的电极及阵列，为各种不同的待操控材料提供所需要的不同形貌和间距的微电极及阵列设计。

2、根据权利要求1所述的一种多功能介电泳操控微电极片上系统，其特征在于：所述的片上系统所包含电极及阵列的种类如下：

1)点线型系列，包括不同尖角角度三角对平板型和小圆点对平板型；

2)点点型系列，包括不同尖角角度三角对三角型和小圆点对小圆点；

3)线线型系列，包括平行平板型和圆弧对圆弧；

4)叉指系列，包括同指间距和不同指间距；

5)城墙垛系列，包括交叉型和正对型；

6)四电极陷阱结构系列，包括四个圆型、四个不同尖角角度三角型和四个方型；

7)封闭式交叉逼近型系列，包括回子型和圆形。

3、根据权利要求1所述的一种多功能介电泳操控微电极片上系统，其特征在于：本发明的引线电路设计选自两种方式：

1)采用引脚电极引出；引脚采用圆形或方型设计，依次排布在片上系统单元的四个边上，一般采用单层或交叉双层结构；片子内部部分电极的引出电路采用总线结构，这样可以简化引出电路；

2)不用引脚电路，采用探针引出方式。

4、权利要求1所述的一种多功能介电泳操控微电极片上系统的制作方法，包括如下步骤：通过在直径为Φ＝2inch的硅片表面氧化生长一层二氧化硅绝缘层，在绝缘层上分别以蒸镀的方式先沉积一层Ti再沉积一层Au，然后旋涂正(光刻)胶，依次经过前烘、光刻、显影和后烘坚膜工序，再进行Au、Ti的腐蚀，完成微电极及阵列的制作。