[发明专利]一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置

权利要求书

1.一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置，包括下炉筒(14)及由包括下石墨保温罩以及包在外面的软毡或固化毡组成的下保温层(13)，中炉筒(10)及由包括中石墨保温罩以及由包在外面的软毡或固化毡组成的中保温层(6)，其特征在于，在中炉筒(10)的下边缘向炉内设置至少三块水平托板(12)，托板(12)支托一圆环状托盘(11)，托盘(11)界于下炉筒(14)内部的下保温层(13)和中炉筒(10)内部的中保温层(6)之间。

2.根据权利要求1所述晶体生长炉热系统的拆装装置，其特征在于所述的托板(12)呈L形板状结构，其直板与中炉筒(10)内壁固定连接，其横板支托圆环状托盘(11)。

3.根据权利要求1或2所述晶体生长炉热系统的拆装装置，其特征在于所述托板(12)为四块。

4.根据权利要求1所述晶体生长炉热系统的拆装装置，其特征在于所述托板(12)为不锈钢材料。

5.根据权利要求1所述晶体生长炉热系统的拆装装置，其特征在于所述托盘(11)的外圈下部，与托板(12)支托接触段有一圈托板(12)定位台阶。

6.根据权利要求1所述晶体生长炉热系统的拆装装置，其特征在于所述托盘(11)的内圈下部，与下保温层(13)接触段有一圈向下凸起的V形突缘，在下保温层(13)相应位置有一圈凹陷的V形定位凹槽。

7.根据权利要求1所述晶体生长炉热系统的拆装装置，其特征在于所述托盘(11)选用碳纤维复合材料。