[发明专利]一种等离子刻蚀残留物清洗液

权利要求书

1、一种等离子刻蚀残留物清洗液，其含有羟胺和/或其衍生物、溶剂、水、螯合剂，其特征在于：其还含有含羧基的聚合物与含颜料亲和基团的聚合物。

2、如权利要求1所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的含羧基聚合物的含量为质量百分比0.001～3％。

3、如权利要求1所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的含羧基的聚合物选自含羧基的均聚物、含羧基的共聚物、含羧基的均聚物盐和含羧基的共聚物盐中的一种或多种。

4、如权利要求3所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的含羧基的均聚物是聚马来酸酐、聚丙烯酸和聚甲基丙烯酸中的一种或多种；所述的含羧基的共聚物是含羧基的单体之间的共聚物，和/或含乙烯基单体与含羧基的单体之间的共聚物；所述的盐是铵盐、钾盐和钠盐中的一种或多种。

5、如权利要求4所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的含羧基的单体之间的共聚物选自丙烯酸与马来酸共聚物，和/或甲基丙烯酸与马来酸共聚物；所述的含乙烯基单体与含羧基的单体之间的共聚物选自苯乙烯与丙烯酸共聚物、苯乙烯与马来酸共聚物、丙烯腈与马来酸共聚物、乙烯与丙烯酸共聚物、丙烯腈与丙烯酸共聚物、苯乙烯与甲基丙烯酸共聚物、乙烯与甲基丙烯酸共聚物和丙烯腈与甲基丙烯酸共聚物中的一种或多种；所述的铵盐为聚丙烯酸铵。

6、如权利要求1所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的含颜料亲和基团的聚合物的含量为质量百分比0.001～3％。

7、如权利要求1所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的含颜料亲和基团的聚合物为含颜料亲和基团的丙烯酸酯类聚合物。

8、如权利要求1或7所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的颜料亲和基团为羟基或氨基。

9、如权利要求7所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的含颜料亲和基团的丙烯酸酯类聚合物选自丙烯酸羟乙酯类单体与除其外的其他丙烯酸酯类单体的共聚物，丙烯酸酯类单体与丙烯酰胺类单体的共聚物，丙烯酸羟乙酯类单体、除其外的其他丙烯酸酯类单体和含乙烯基单体的三元共聚物，以及丙烯酸酯类单体、丙烯酰胺类单体和含乙烯基单体的三元共聚物中的一种或多种。

10、如权利要求9所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的丙烯酸羟乙酯类单体、除其外的其他丙烯酸酯类单体和含乙烯基单体的三元共聚物为丙烯酸羟乙酯、丙烯酸甲酯和苯乙烯的三元共聚物；所述的丙烯酸酯类单体、丙烯酰胺类单体和含乙烯基单体的三元共聚物为丙烯酸丁酯、丙烯酰胺和丙烯酸的三元共聚物。

11、如权利要求9或10所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的丙烯酸酯类单体为丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羟乙酯或丙烯酸羟乙酯；所述的丙烯酸羟乙酯类单体为甲基丙烯酸羟乙酯或丙烯酸羟乙酯。

12、如权利要求1所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的羟胺及其衍生物的含量为质量百分比1～30％；所述的溶剂含量为质量百分比20～70％；所述的水含量为质量百分比10～45％；所述的螯合剂的含量为质量百分比0.1～20％。

13、如权利要求1所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的羟胺和/或其衍生物选自羟胺，羟胺与无机酸形成的盐类，以及羟胺上胺基和/或羟基上氢原子被C₁～C₂的取代基取代的衍生物中的一种或多种；所述的溶剂选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、醚、酰胺和醇胺中的一种或多种；所述的螯合剂是含有多个官能团的芳基化合物。

14、如权利要求13所述的等离子刻蚀残留物清洗液，其特征在于：所述的羟胺与无机酸形成的盐类为羟胺盐酸盐；所述的羟胺上胺基和/或羟基上氢原子被C1～C2的取代基取代的衍生物为N-甲基羟胺、N，N-二甲基羟胺、乙酰基羟胺和1-甲氧基胺中的一种或多种；所述的亚砜为二甲基亚砜；所述的砜为环丁砜；所述的咪唑烷酮为1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的吡咯烷酮为N-甲基吡咯烷酮；所述的咪唑啉酮为1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的醚为丙二醇单甲醚和/或二丙二醇单甲醚；所述的酰胺为二甲基甲酰胺；所述的醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、2-(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一种或多种；所述的螯合剂为邻苯二酚、邻巯基苯酚、邻羟基苯甲酸、连苯三酚和没食子酸中的一种或多种。