[发明专利]一种照明均匀性校正装置

权利要求书

1.一种照明均匀性校正装置，设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，其包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，该若干校正组件对沿非扫描方向间隔排列设置并覆盖整个照明场，沿扫描方向重叠设置并覆盖整个照明场；其特征在于，还包含设置在每个校正组件对的出射光线方向的光线偏移校正组件；

所述的校正组件对包含沿扫描方向插入矩形照明场的第一校正组件，和沿扫描反方向插入矩形照明场的第二校正组件；

所述的第一校正组件和第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈三角状；

所述的第一校正组件和第二校正组件分别沿三角形斜边方向做至少一维运动，且沿光束传输方向做相对移动；

所述的第一校正组件和第二校正组件上设置有随位置变化而变化的透过率分布，且该第一校正组件的透过率分布与第二校正组件的透过率分布相反设置，即两者在移动方向上具有相反变化趋势的透过率分布。

2.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的所有第一校正组件和对应的第二校正组件之间设置间隔隔开。

3.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件的透过率分布至少是一维的透过率分布。

4.如权利要求3所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件的透过率分布为一次函数分布，或者二次函数分布，或者三角函数分布，或者上述若干种函数的组合分布。

5.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的校正组件对的第一校正组件和第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上均为楔形三角状。

6.如权利要求5所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的光线偏移校正组件由两个呈楔形三角状的第一光线偏移校正组件和第二光线偏移校正组件构成，其和校正组件对关于光束传输截面具有镜像结构。

7.如权利要求6所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一光线偏移校正组件和第二光线偏移校正组件中至少有一个可沿光束传输方向移动。

8.如权利要求7所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一光线偏移校正组件和第二光线偏移校正组件之间的间距等于第一校正组件和第二校正组件之间的间距。

9.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件在扫描方向与光束传输方向截面是楔形三角状，所述的第二校正组件是等腰三角状。

10.如权利要求9所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的光线偏移校正组件呈楔形三角状，其与第一校正组件相对于光束传输截面具有镜像结构。

11.如权利要求10所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的光线偏移校正组件可沿光束传输方向移动。

12.如权利要求11所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件之间的间距等于第二校正组件和光线偏移校正组件之间的间距。

13.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件由玻璃，或者透射材料制成。

14.如权利要求13所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的设置有透过率分布的第一校正组件和第二校正组件通过在制造材料上沉积透射或衰减物的方法制成。

15.如权利要求13所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的设置有透过率分布的第一校正组件和第二校正组件通过在制造材料上沉积随机点状衰减或挡光物的方法制成，通过控制所述点状物的密度以实现预定的透过率分布。