[发明专利]图形定位精度检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种图形定位检测装置，用于测量图形的位置变化，其特征在于，所述装置包括沿探测光路依次排列的相移模块、透射聚焦光学模块、掩模台、分光棱镜、准直模块、45度设置的分光镜以及位于所述分光镜第一出射面上的对准传感器，所述掩模台用于承载具有所述图形的掩模版；所述装置还包括：照明光源模块，其出射光经过一照明聚焦模块后，通过所述分光棱镜照射到掩模版的上表面；激光光源模块，其出射光通过一分光模块分为一束参考光和一束透射光，所述参考光通过一参考光单模光纤入射至所述分光棱镜，所述透射光通过一透射光单模光纤入射至所述透射聚焦光学模块；所述分光镜的第二出射面上还设有一成像模块和一图像传感器；所述装置还包括与上述各部件相连的主控机。

2.如权利要求1所述的图形定位检测装置，其特征在于：所述透射聚焦光学模块固定在所述相移模块上，该相移模块可以垂向移动。

3.如权利要求1所述的图形定位检测装置，其特征在于：所述透射光和参考光是来自所述激光光源模块同一出射光的相干光。

4.如权利要求1所述的图形定位检测装置，其特征在于：所述参考光和透射光通过所述分光棱镜进行合并。

5.如权利要求1所述的图形定位检测装置，其特征在于：所述掩模台可在X、Y、Z方向精确移动。

6.如权利要求1所述的图形定位检测装置，其特征在于：所述主控机控制激光光源模块产生激光和调节光强、控制照明光源模块开关和光强、控制相移模块移动、掩模台移动以及传感器的图像信息分析。

7.采用如权利要求1所述的图形定位检测装置的检测方法，其特征在于，通过所述透射光和参考光进行干涉的方法，测量透射光的波前变化，从而计算出图形的位置，所述方法包括下列步骤：

(1)  主控机控制照明光源模块打开并调节光强，让照明光照射到掩模版上图形的一个较大范围；

(2)  通过图像传感器接收所述图形的图像信息；

(3)  通过图像传感器作图像分析找到需要进行精确定位的图形，并由主控机控制对图形进行粗定位；

(4)  关闭照明光源模块，开启激光光源模块；

(5)  通过对准传感器分析图形表面的离焦和偏离；

(6)  控制图形的移动位置，使之达到最佳的焦面和倾斜位置；

(7)  主控机根据对准传感器记录的图形位置计算得到该图形的精确位置信息。