[发明专利]一种微波可调器件用复合型铁电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种微波可调器件用复合型铁电薄膜，其特征在于，按照摩尔百分比由30％～40％的Mg₂TiO₄和70％～60％的Ba_(1-x)Sr_xTi_0.85Mg_0.15O₃组成，其中x＝0.40～0.60。

2.一种制备权利要求1所述的微波可调器件用复合型铁电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、按照Ba_(1-x)Sr_xTi_0.85Mg_0.15O₃，x＝0.40～0.60的化学配比，先将醋酸钡、醋酸锶、硝酸镁在冰醋酸和水的混合溶液中加热至沸腾，待冷却至室温时，再加入钛酸四正丁酯和乙酰丙酮的混合溶液，形成Ba_(1-x)Sr_xTi_0.85Mg_0.15O₃溶液；

B、按照Mg₂TiO₄的化学配比，将硝酸镁的乙二醇乙醚溶液与钛酸四正丁酯的乙酰丙酮溶液混合，形成Mg₂TiO₄溶液；将步骤A获得的溶液与Mg₂TiO₄溶液混合，并用冰醋酸和水调整溶液的摩尔浓度至0.10～0.20M，放置24小时后形成前驱体溶胶；

C、将步骤B获得的前驱体溶胶通过旋转涂覆的方法在Pt(1 1 1)/Ti/SiO₂/Si(1 0 0)基底上制成凝胶膜，旋转速度为2900～3100转/分，时间为10～30秒；

D、将涂覆好的凝胶膜在500℃～600℃的环境下处理5～10分钟，取出后冷却至室温，再在其上面涂覆下一层凝胶膜，循环往复直到获得所需厚度的凝胶膜，再在800～900℃下处理30～180分钟。